| Anlage und Verfahren zum Betreiben einer Anlage mit auf einer Verfahrebene verfahrbarem Mobilteil, welches eine Messeinheit aufweist, und einem Messkörper, welcher beabstandet ist von der Verfahrebene und von der zur Verfahrebene parallelen Ebene, welche die Messeinheit enthält insbesondere und möglichst weit entfernt von der Verfahrebene angeordnet ist, wobei die Messeinheit derart ausgeführt ist, dass sie den Abstand zwischen Messkörper und Messeinheit in Normalenrichtung zur Verfahrebene bestimmt, wobei der Messkörper derart geformt ist, dass in der auf die Ebene senkrechten Projektion, insbesondere Projektionsfläche, des Messkörpers den oder mehreren insbesondere nicht einander überlappenden Teilflächenbereichen der Projektionsfläche jeweils ein Abstandswert eineindeutig zugeordnet ist. |
