| Die Erfindung betrifft eine Terahertz-Messvorrichtung (1) zum Vermessen eines Prüfobjektes (2) durch eine Laufzeitmessung unter Ermittlung mindestens eines Abstandes (d1, d2, d3, d4), wobei die Terahertz-Messvorrichtung (1) aufweist: eine Terahertz-Sende- und Empfangseinheit (3) zum Aussenden von Terahertz-Strahlung (5) und Detektieren der von dem Prüfobjekt (2) reflektierten Terahertz-Strahlung, und eine Auswerteeinheit (12) zur Ermittlung einer Laufzeit der Terahertz-Strahlung und mindestens eines Abstandes des Prüfobjektes (2), Hierbei ist vorgesehen, dass mindestens eine, vorzugsweise mehrere passive Terahertz- Empfangseinrichtungen (4) vorgesehen sind, deren optische Achsen (C-4) zu der optischen Achse (C-3) der Terahertz-Sende- und Empfangseinheit (3) versetzt oder geneigt angeordnet sind und eine von der Terahertz-Sende- und Empfangseinheit (3) ausgesandte und an dem Prüfobjekt (2) zweite reflektierte Terahertz-Strahlung (6b) detektieren, eine Datenverbindung (10) zur Synchronisierung der Terahertz- Sende- und Empfangseinheit (3) und der mindestens einen passiven Terahertz-Empfangseinheit (4) mittels eines Synchronisationssignals (S1) vorgesehen ist, wobei die Auswerteeinheit (12) oder die Terahertz-Empfangseinheit (4) aus der zweiten reflektierten Terahertz-Strahlung (6b) und dem Synchronisationssignal (S1) eine zweite Laufzeit (Δt3, Δt4) und einen zweiten Abstand ermittelt. |
