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MESSSYSTEM UND VERFAHREN ZUR KOMBINIERTEN ERFASSUNG DER OBERFLÄCHENTOPOGRAFIE UND HYPERSPEKTRALEN BILDGEBUNG

Patentnummer:EP3568667B1
IPC Hauptklasse:G01B11/24
Anmelder:BADEN WUERTTEMBERG STIFTUNG GMBH (1)
Erfinder:MADER RAPHAEL (1)
STOCK KARL (1)
Anmeldung:15.01.18
Patenterteilung:24.11.21
Einspruch bis:24.08.22

Abstract / Hauptanspruch
Verfahren zum Erfassen topographischer und ortsaufgelöster, spektraler Eigenschaften einer zu untersuchenden Oberfläche (2), umfassend:- Erzeugen eines Beleuchtungsmusters (4) eines ersten Messlichts mit einer Vielzahl von Wellenlängen;- Abbilden des Beleuchtungsmusters (4) des ersten Messlichts auf die zu untersuchende Oberfläche (2) mittels eines chromatischen Objektivs (5) derart, dass das Beleuchtungsmuster (4) für unterschiedliche Wellenlängen der Vielzahl von Wellenlängen des ersten Messlichts in unterschiedlichen Abständen vom chromatischen Objektiv (5) scharf abgebildet wird;- Abbilden des von der zu untersuchenden Oberfläche abgestrahlten ersten Messlichts mittels des chromatischen Objektivs (5) auf eine Konfokalmaske (6), welche ein zum Beleuchtungsmuster (4) korrespondierendes Transmissionsmuster aufweist;- spektrales Aufspalten des durch die Konfokalmaske (6) transmittierten ersten Messlichts;- ortsaufgelöstes Erfassen einer 2-dimensionalen Intensitätsverteilung des spektral aufgespaltenen ersten Messlichts mittels eines Detektors (8');- Ermitteln der topographischen Eigenschaften der zu untersuchenden Oberfläche (2) anhand der mittels des Detektors (8') erfassten Intensitätsverteilung des ersten Messlichts;- homogenes Beleuchten der zu untersuchenden Oberfläche (2) mittels eines zweiten Messlichts mit einer Vielzahl von Wellenlängen;- Abbilden des von der zu untersuchenden Oberfläche (2) abgestrahlten zweiten Messlichts mittels des chromatischen Objektivs (5) auf die Konfokalmaske (6);- spektrales Aufspalten des durch die Konfokalmaske (6) transmittierten zweiten Messlichts;- ortsaufgelöstes Erfassen einer 2-dimensionalen Intensitätsverteilung des spektral aufgespaltenen zweiten Messlichts mittels des Detektors (8'); und- Ermitteln der ortsaufgelösten, spektralen Eigenschaften der zu untersuchenden Oberfläche (2) anhand der mittels des Detektors (8') erfassten Intensitätsverteilung des zweiten Messlichts.


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