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KALIBRIERUNG EINES INTERFEROMETERS

Patentnummer:EP3182062B1
IPC Hauptklasse:G01B21/04
Anmelder:HAAG AG STREIT (0)
HAAG-STREIT AG (0)
Koeniz, CH
ハーグ-シュトライト アーゲー (0)
Erfinder:KESSELRING PASCAL (0)
LUCIO ROBLEDO (0)
PASCAL KESSELRING (0)
ROBLEDO LUCIO (0)
Anmeldung:14.12.15
Patenterteilung:22.09.21
Einspruch bis:22.06.22

Abstract / Hauptanspruch
In einem Verfahren zur Kalibrierung eines Interferometers (100) mit einem Strahlengang für einen Messstrahl (112), wobei mindestens eine den Messstrahl (112) mindestens teilweise reflektierende Ebene (320) in den Strahlengang eingeführt ist, und wobei eine Normale einer ersten Ebene (320) zu einem auf die erste Ebene (320) auftretenden Messstrahl (112) um einen ersten Winkel verschwenkt ist, werden die folgenden Schritte ausgeführt: interferometrisches Messen eines ersten axialen Abstandes eines ersten Punktes auf der ersten Ebene (320) mit dem Messstrahl (112), sowie interferometrisches Messen eines zweiten axialen Abstandes eines zweiten Punktes auf einer der mindestens einen Ebene (320) mit dem Messstrahl (112), wobei der zweite Punkt zum ersten Punkt beabstandet ist.


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