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TERAHERTZ-MESSGERÄT ZUR ERMITTLUNG EINER SCHICHTDICKE EINES PRÜFOBJEKTES UND ENTSPRECHENDES MESSVERFAHREN

Patentnummer:EP3526542B1
IPC Hauptklasse:G01B11/06
Anmelder:INOEX GMBH INNOVATIONEN UND AUSRUESTUNGEN FUER DIE EXTRUSIONSTECHNIK (1)
INOEX GMBH LNNOVATIONEN UND AUSRUESTUNGEN FUER DIE EXTRUSIONSTECHNIK (0)
Erfinder:BOEHM ROLAND (0)
BÖHM ROLAND (0)
KLOSE RALPH (1)
Anmeldung:17.10.16
Patenterteilung:22.09.21
Einspruch bis:22.06.22

Abstract / Hauptanspruch
Die Erfindung betrifft ein ΤΉz-Messgerät (1) zur Ermittlung mindestens einer Schichtdicke (a1, a2, a3, a4) eines Prüfobjektes (20, 120, 220), wobei das Messgerät (1) aufweist: eine THz-Sende- und Empfangseinheit (14) zum Aussenden von THz-Strahlung (15) entlang einer optischen Achse (A) und zum Empfangen reflektierter THz-Strahlung (16) entlang der optischen Achse (A), eine Steuereinheit (10) zur Ansteuerung der Sende- und Empfangseinheit (14). Hierbei ist das THz-Messgerät (1) vorzugsweise tragbar mit einem Griffbereich (34) zum Ergreifen und Positionieren durch den Benutzer aufweist, wobei es an einem vorderen Endbereich (5), insbesondere einer Formblende (5), eine Auflagekontur (7) mit mehreren Anlagepunkten (P, P1, P2, P3, P4) zur Anlage an einer gekrümmten Oberfläche (18) des Prüfobjektes (20, 120, 220) aufweist, zur senkrechten Positionierung an der Oberfläche (18, 118, 218).


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