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ABTASTPLATTE FÜR EINE OPTISCHE POSITIONSMESSEINRICHTUNG

Patentnummer:EP3438618B1
IPC Hauptklasse:G01B11/00
Anmelder:HEIDENHAIN GMBH DR JOHANNES (8)
Erfinder:FUNK STEFAN (1)
HOFFMANN ANDREAS (1)
HOFMANN ANDREAS (1)
SPECKBACHER PETER (1)
STEFAN FUNK (1)
Anmeldung:02.05.18
Patenterteilung:18.08.21
Einspruch bis:18.05.22

Abstract / Hauptanspruch
Es wird eine Abtastplatte fur eine optische Positionsmesseinrichtung offenbart, die ein Substrat (SUB) mit einer in Transmission betriebenen Oberfläche (O) mit verschiedenen Funktionsbereichen (G, F, R) aufweist. Die Oberfläche (O) weist mindestens einen Bereich mit einem aus Lucken (L) und Stegen (S) gebildeten Gitter (G) auf, wobei die Lucken (L) im Substrat (SUB) ausgebildet sind. Die Oberfläche (O) weist eine Antireflexschicht (AR) auf, die im Bereich der Lucken (L) unterbrochen ist.


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