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Europäisches Patentamt

Vorrichtung und Verfahren zur Vermessung mindestens eines schräg im Raum stehenden Messobjekts | Device and method for measuring at least one measuring object standing at an angle in space

Patentnummer:DE102019206977B4
IPC Hauptklasse:G01B001124
Anmelder:Carl Zeiss AG (0)
Carl Zeiss Strasse 22, 73447 Oberkochen, DE
Erfinder:
Anmeldung:14.05.19
Offenlegung:14.05.19
Patenterteilung:02.06.21

Abstract / Hauptanspruch
Verfahren (110) zur Vermessung mindestens eines schräg im Raum stehenden Messobjekts (112) mit mindestens einem Bildsensor (114), wobei das Verfahren (110) die die folgenden Schritte aufweist:
a) (116) Erfassen mindestens eines Messbildes des Messobjekts (112) mit dem Bildsensor (114);
b) (120) Bestimmen einer Sollorientierung des Bildsensors (114), welche einer Lage eines zu vermessenden Elementes des Messobjekts (112) entspricht;
c) (122) Bestimmen eines korrigierten Bildes des Messbildes aus der Blickrichtung der Sollorientierung des Bildsensors (114), wobei das Bestimmen des korrigierten Bildes die folgenden Schritte umfasst:
c1) Bereitstellen eines Korrekturvolumens (124), wobei das Korrekturvolumen (124) jeweils einen Korrekturwert für eine Mehrzahl von Positionen (126) innerhalb des Korrekturvolumens (124) aufweist, wobei das Bereitstellen des Korrekturvolumens (124) ein Erfassen einer bekannten Struktur (136) mit dem Bildsensor (114) in einer Mehrzahl von Ebenen und/oder Positionen (138) und
ein Bestimmen von Abweichungen einer Ist-Position der erfassten Struktur (136) von einer Soll-Positionen der erfassten Struktur (136) umfasst;
c2) Bestimmen einer Ebene (128) in dem Korrekturvolumen (124) entsprechend der Sollorientierung und Erfassen des jeweiligen Korrekturwertes für eine Mehrzahl von Punkten der Ebene (128);
c3) Bestimmen des korrigierten Bildes basierend auf dem Messbild und den Korrekturwerten.

Method (110) for measuring at least one measurement object (112) standing at an angle in space with at least one image sensor (114), the method (110) having the following steps:
a) (116) capturing at least one measurement image of the measurement object (112) with the image sensor (114);
b) (120) determining a target orientation of the image sensor (114) which corresponds to a position of an element of the measurement object (112) to be measured;
c) (122) Determination of a corrected image of the measurement image from the viewing direction of the target orientation of the image sensor (114), the determination of the corrected image comprising the following steps:
c1) providing a correction volume (124), the correction volume (124) each having a correction value for a plurality of positions (126) within the correction volume (124), wherein the provision of the correction volume (124) involves capturing a known structure (136) with the image sensor (114) in a plurality of planes and / or positions (138) and
comprises determining deviations of an actual position of the detected structure (136) from a target position of the detected structure (136);
c2) determining a plane (128) in the correction volume (124) corresponding to the target orientation and detecting the respective correction value for a plurality of points of the plane (128);
c3) determining the corrected image based on the measurement image and the correction values.

DE102019206977B4


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