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Europäisches Patentamt

Koordinatenmessgerät sowie Verfahren zum Messen eines Objektes mit einem Koordinatenmessgerät | Coordinate measuring machine and method for measuring an object with a coordinate measuring machine

Patentnummer:DE112006001423B4
IPC Hauptklasse:G01B001103
Anmelder:Werth Messtechnik GmbH (0)
Siemensstrasse 19, 35394 Giessen, DE
Erfinder:CHRISTOPH, Ralf (0)
Taunusblick 2, 35641 Schöffengrund, DE
Rauh, Wolfgang (0)
Am Mehrdrusch 16, 35094 Lahntal-Goßfelden, DE
Anmeldung:06.06.06
Offenlegung:03.06.05
Patenterteilung:24.06.21

Abstract / Hauptanspruch
Koordinatenmessgerät (10) umfassend ein in zumindest zwei Koordinatenachsenrichtungen automatisch bewegbares Tastsystem mit zumindest einem ein zu messendes Objekt (16) berührungslos antastenden ersten optischen Sensor (32), der als ein nach dem Funktionsprinzip eines Interferometers arbeitender punktförmig wirkender Abstandssensor (Interferometer-Sensor) ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, dass Austrittswinkel und/oder Winkelposition und/oder Länge des Messstrahlengangs des zumindest einen ersten optischen Sensors (32) oder der Messstrahlengänge von zumindest zwei in dem Koordinatenmessgerät (10) integrierten ersten optischen Sensoren zur Erfassung gewünschter Strukturen des Objektes (16) anpassbar ist und dass die Messergebnisse für die unterschiedlichen Austrittswinkel und/oder Winkelpositionen und/oder Längen durch Einmessen des bzw. der ersten optischen Sensoren in Bezug auf die unterschiedlichen Austrittswinkel und/oder Winkelpositionen und/oder Strahllängen über ein Kalibriernormal in einem einheitlichen Koordinatensystem zur Verfügung stellbar sind.

Coordinate measuring device (10) comprising a probe system which can be automatically moved in at least two coordinate axis directions and has at least one first optical sensor (32) which touches an object to be measured (16) in a non-contact manner and which is designed as a point-like acting distance sensor (interferometer sensor) working according to the functional principle of an interferometer is characterized by that the exit angle and / or angular position and / or length of the measuring beam path of the at least one first optical sensor (32) or the measuring beam paths of at least two first optical sensors integrated in the coordinate measuring device (10) can be adapted to detect the desired structures of the object (16) and that the measurement results for the different exit angles and / or angular positions and / or lengths by measuring the or of the first optical sensors can be made available in relation to the different exit angles and / or angular positions and / or beam lengths via a calibration standard in a uniform coordinate system.

The invention relates to a coordinate measuring unit (10) with at least one optical sensor (32) that contactlessly senses an object (16) to be measured. In order to be able to measure highly precise small dimensions and slopes of objects, the invention provides that the exit angle and/or angular position and/or length of the measuring beam path of the optical sensor (32) can be adapted for detecting desired structures of the object (16), and that the measurement results for the different exit angles and/or angular positions and/or lengths can be provided in a uniform coordinate system by successively calibrating the optical sensors with regard to the different exit angles and/or angular positions and/or lengths.

DE112006001423B4


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