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Europäisches Patentamt

VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR TOPOGRAPHISCHEN MESSUNG | DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE TOPOGRAPHIQUE | TOPOGRAPHIC MEASUREMENT DEVICE AND METHOD

Patentnummer:EP3749921B1
IPC Hauptklasse:G01B001125
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:29.04.19
Offenlegung:27.04.18
Patenterteilung:02.06.21

Abstract / Hauptanspruch
The invention relates to a device for measuring (1) the topography of the surface of a sample, said device comprising a projector (3) that projects a structured image onto the surface of the sample. A camera (4) observes the projected image on the surface of the sample. A heating device (6) applies a temperature ramp to the sample. A first optical device (8a) arranged in the optical axis of the projector (3) modifies the image emitted by the projector (3) and applies it to the sample. The first optical device (8a) comprises a plurality of different lenses defining different magnifications. The lenses are mounted such that they move in relation to each other. A second optical device (8b) is arranged in the optical axis of the camera (4) for modifying the dimension of the observation zone on the surface of the sample. The second optical device comprises a plurality of different lenses having different magnifications. The lenses are movably mounted so as to define a plurality of different-sized observation zones.

Le dispositif de mesure (1) de topographie de la surface d'un échantillon comporte un projecteur (3) qui projette une image structurée sur la surface de l'échantillon. Une caméra (4) observe l'image projetée à la surface de l'échantillon. Un dispositif de chauffage (6) applique une rampe de température sur l'échantillon. Un premier dispositif optique (8a) disposé selon l'axe optique du projecteur (3) vient modifier l'image émise par le projecteur (3) et l'appliquer sur l'échantillon. Le premier dispositif optique (8a) comportant plusieurs lentilles distinctes définissant des grossissements différents. Les lentilles sont montées mobiles entre elles. Un deuxième dispositif optique (8b) est disposé selon l'axe optique de la caméra (4) pour modifier la dimension de la zone d'observation sur la surface de l'échantillon. Le deuxième dispositif optique comporte plusieurs lentilles distinctes qui présentent des grossissements différents. Les lentilles sont montées mobiles pour définir plusieurs zones d'observation de tailles différentes.

EP3749921B1


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