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OPTISCHE SENSORANORDNUNG SOWIE VERFAHREN ZUR ERFASSUNG EINER MESSGRÖSSE MIT HILFE EINER OPTISCHEN SENSORANORDNUNG | DISPOSITIF DE DÉTECTION OPTIQUE ET PROCÉDÉ PERMETTANT DE DÉTECTER UNE VALEUR DE MESURE AU MOYEN D'UN DISPOSITIF DE DÉTECTION OPTIQUE | OPTICAL SENSOR ARRANGEMENT AND METHOD FOR DETECTING A MEASURED VARIABLE WITH THE AID OF AN OPTICAL SENSOR ARRANGEMENT

Patentnummer:EP2904355B1
IPC Hauptklasse:G01D000526
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:01.10.13
Offenlegung:04.10.12
Patenterteilung:23.06.21

Abstract / Hauptanspruch
Zur Ausbildung einer miniaturisierten, monolithischen Interferometeranordnung zur Erfassung einer Messgröße ist ein Sensorelement mit einem sich in Längsrichtung erstreckenden Träger (4) mit einer Wellenleiterstruktur (6) vorgesehen. Zur Ausbildung eines Interferometers weist die Wellenleiterstruktur (6) einen Referenzleiter (22) sowie einen Messleiter (20) auf, die parallel nebeneinander geführt sind. Zur Erfassung der Messgröße weist das Sensorelement (2) eine seitliche, messaktive Seitenfläche (12A) auf, auf die die zu erfassende Messgröße einwirkt, so dass eine asymmetrische Wechselwirkung der Messgröße mit der Wellenleiterstruktur (6) erfolgt und die optische Weglänge des Messleiters (20) in Relation zum Referenzleiter (22) variiert. Dieser Weglängenunterschied wird durch das Interferometer elektronisch ausgewertet.

The invention relates to a sensor element for forming a miniaturized, monolithic interferometer arrangement for detecting a measured variable. Said sensor element has a substrate (4) extending in the longitudinal direction and a waveguide structure (6). In order to form an interferometer, the waveguide structure (6) has a reference conductor (22) and a measuring conductor (20), which are guided in parallel beside each other. In order to detect the measured variable, the sensor element (2) has a lateral, actively measuring side surface (12A), on which the measured variable to be detected acts, such that an asymmetric interaction between the measured variable and the waveguide structure (6) takes place and varies the optical path length of the measuring conductor (20) in relation to the reference conductor (22). This difference in path length is evaluated electronically by the interferometer.

L'invention concerne un élément de détection comprenant un support (4) s'étendant dans la direction longitudinale et présentant une structure de guide d'ondes (6), afin de former un dispositif interféromètre monolithique miniaturisé pour la détection d'une valeur de mesure. Pour former un interféromètre, la structure de guide d'ondes (6) comprend un conducteur de référence (22) et un conducteur de mesure (20) qui sont guidés parallèlement l'un à côté de l'autre. Pour détecter la valeur de mesure, l'élément de détection (2) possède une surface latérale (12A) active en mesure sur laquelle agit la valeur de mesure à détecter, de sorte qu'une interaction asymétrique de la valeur de mesure a lieu avec la structure de guide d'ondes (6), le trajet optique du conducteur de mesure (20) variant relativement au conducteur de référence (22). Cette différence de trajet optique est évaluée électroniquement par l'interféromètre.

EP2904355B1


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