patentverein.de - Patente
Patentethik
Überwachung
Beispielhaft
Trivial
Kurios
Unverständlich
Zurück Original-Dokument
Europäisches Patentamt

THz-Messvorrichtung und THz-Messverfahren zum Ermitteln einer Schichtdicke oder eines Abstandes eines Messobjektes | THz measuring device and THz measuring method for determining a layer thickness or a distance of a measuring object

Patentnummer:DE102019108299B4
IPC Hauptklasse:G01B001106
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:29.03.19
Offenlegung:29.03.19
Patenterteilung:07.01.21

Abstract / Hauptanspruch
THz-Messvorrichtung (1) zur Messung einer Schichtdicke (s) einer Wandung (4a) eines Messobjektes und/oder eines Abstandes (18) zwischen Grenzflächen (4b, 4c) eines Messobjektes (4), mit mindestens einer Sende- und Empfangseinheit (2) mit einem Terahertz-Sender (8) zum Einstrahlen von Terahertz-Strahlung (6a) entlang einer optischen Achse (C) auf das Messobjekt (4) und einem Terahertz-Empfänger (9) zum Empfangen von dem Messobjekt (4) reflektierter Terahertz-Strahlung (6b),
einer Steuereinrichtung (10), die ausgebildet ist, die Schichtdicke (s) der Wandung (4a) des Messobjektes (4) und/oder einen Abstand (18) zwischen Grenzflächen (4b, 4c) des Messobjektes (4) aus einer Laufzeitdifferenz (t2-t1) der an einer ersten Grenzfläche (4b, 4c) der Wandung (4a) des Messobjektes (4) reflektierten Terahertz-Strahlung (6b) und der an einer zweiten Grenzfläche (4b, 4c) der Wandung (4a) reflektierten Terahertz-Strahlung (6b) zu ermitteln,
wobei im Strahlengang (5) der mindestens einen Sende- und Empfangseinheit (2) eine verstellbare Optikeinheit (7) mit einem Reflektor (13) angeordnet ist, wobei eine Oberfläche (13a) des Reflektors (13) ausgebildet ist, die eingestrahlte Terahertz-Strahlung (6a) und/oder die von der jeweiligen Grenzfläche (4b, 4c) reflektierte Terahertz-Strahlung (6b) abzulenken zum Einstellen der optischen Achse (C) der Sende- und Empfangseinheit (2),
dadurch gekennzeichnet, dass
der Reflektor (13) verformbar ausgebildet ist, so dass ein Strahlquerschnitt (Qa, Qb, Qc) der eingestrahlten Terahertz-Strahlung (6a) in einer in Strahlrichtung der eingestrahlten Terahertz-Strahlung (6a) hinter dem Reflektor (13) liegenden Fokussierebene (17) veränderbar ist, wobei die Fokussierebene (17) durch die Verformung des Reflektors (13) einstellbar ist.

THz measuring device (1) for measuring a layer thickness (s) of a wall (4a) of a measurement object and / or a distance (18) between interfaces (4b, 4c) of a measurement object (4), with at least one transmitting and receiving unit (2 ) with a terahertz transmitter (8) for radiating terahertz radiation (6a) along an optical axis (C) onto the measurement object (4) and a terahertz receiver (9) for receiving terahertz radiation reflected from the measurement object (4) Radiation (6b),
a control device (10) which is designed to determine the layer thickness (s) of the wall (4a) of the measurement object (4) and / or a distance (18) between interfaces (4b, 4c) of the measurement object (4) from a transit time difference (t2 -t1) the terahertz radiation (6b) reflected at a first interface (4b, 4c) of the wall (4a) of the measurement object (4) and the terahertz radiation reflected at a second interface (4b, 4c) of the wall (4a) (6b) to determine
wherein an adjustable optical unit (7) with a reflector (13) is arranged in the beam path (5) of the at least one transmitting and receiving unit (2), one surface (13a) of the reflector (13) being formed for the radiated terahertz radiation (6a) and / or deflect the terahertz radiation (6b) reflected by the respective boundary surface (4b, 4c) in order to set the optical axis (C) of the transmitting and receiving unit (2),
characterized in that
the reflector (13) is designed to be deformable, so that a beam cross-section (Qa, Qb, Qc) of the radiated terahertz radiation (6a) in a focal plane (17) lying behind the reflector (13) in the beam direction of the radiated terahertz radiation (6a) ) is changeable, the focusing plane (17) being adjustable by the deformation of the reflector (13).

DE102019108299B4


Kommentare zu diesem Patent schicken Sie bitte an .
Datenschutzerklärung