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Europäisches Patentamt

Verfahren und Vorrichtung zur optischen Oberflächenvermessung eines Messobjektes | Method and device for optical surface measurement of a measurement object

Patentnummer:DE102017211377B4
IPC Hauptklasse:G01B001124
Anmelder:
Erfinder:WAGNER, Robert (0)
Grünet 6, 94127 Neuburg am Inn, DE
Anmeldung:04.07.17
Offenlegung:04.07.17
Patenterteilung:14.01.21

Abstract / Hauptanspruch
Verfahren zur optischen Oberflächenvermessung eines Messobjektes (2), wobei mit einer Bilderzeugungseinrichtung (1) ein Bildmusters dargestellt und das Messobjekt mit diesem erzeugten Bildmuster bestrahlt wird und wobei das von dem Messobjekt durch Reflexion, Streuung, Beugung und/oder Transmission beeinflusste Bildmuster mit einer Erfassungseinrichtung (3) aufgenommen wird, wobei mittels einer Korrekturfunktion die Bilderzeugungseinrichtung (1) und somit das dargestellte Bildmuster derart angepasst wird, dass das von der Erfassungseinrichtung (3) aufgenommene, beeinflusste Bildmuster zeitlich und/oder örtlich eine zumindest im Wesentlichen konstante und/oder homogene und/oder lineare Helligkeit aufweist, und wobei mittels der Korrekturfunktion die Gammakorrektur der Bilderzeugungseinrichtung (1) an die Gammakorrektur der Erfassungseinrichtung (3) angepasst wird.

Method for optical surface measurement of a measurement object (2), with an image generation device (1) displaying an image pattern and irradiating the measurement object with this image pattern generated and with the image pattern influenced by the measurement object through reflection, scattering, diffraction and / or transmission with a detection device (3) is included, the image generating device (1) and thus the displayed image pattern being adapted by means of a correction function in such a way that the influenced image pattern recorded by the detection device (3) has an at least substantially constant and / or homogeneous and / or linear brightness in terms of time and / or location , and wherein the gamma correction of the image generation device (1) is adapted to the gamma correction of the detection device (3) by means of the correction function.

DE102017211377B4


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