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Europäisches Patentamt

TISCHVORRICHTUNG, VERFAHREN ZUR STEUERUNG EINER TISCHVORRICHTUNG UND MIKROKOPSYSTEM | APPAREIL À PLATINE, PROCÉDÉ DE COMMANDE D'UN APPAREIL À PLATINE, ET SYSTÈME DE MICROSCOPE | STAGE APPARATUS, METHOD OF CONTROLLING STAGE APPARATUS, AND MICROSCOPE SYSTEM

Patentnummer:EP3289308B1
IPC Hauptklasse:G01B000500
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:21.04.16
Offenlegung:01.05.15
Patenterteilung:30.12.20

Abstract / Hauptanspruch
A stage apparatus comprises an incremental scale fixed to a movable unit and having a predetermined length shorter than a distance the movable unit can move in a first direction, a first and a second sensor that are arranged in the first direction with an interval therebetween shorter than the predetermined length, and a detection unit that detects an origin point position set in a movable range of the movable unit. In an origin return, if the movable unit is at a position at which both the first sensor and the second sensor can read the scale, the apparatus moves the movable unit to the origin point position by a predetermined distance, then moves the movable unit at a lower speed until the origin point position is detected.

L'invention concerne un appareil à étage qui comprend une échelle incrémentielle fixée à une unité mobile et ayant une longueur prédéfinie plus courte qu'une distance que peut parcourir l'unité mobile dans une première direction, un premier et un second capteur qui sont agencés dans la première direction avec un intervalle entre ceux-ci plus court que la longueur prédéfinie, et une unité de détection qui détecte un point de position d'origine défini dans une plage mobile de l'unité mobile. Dans un retour à l'origine, si l'unité mobile est au niveau d'une position à laquelle à la fois le premier capteur et le second capteur peuvent lire l'échelle, l'appareil déplace l'unité mobile vers la position du point d'origine sur une distance prédéfinie, puis déplace l'unité mobile à une vitesse inférieure jusqu'à ce que la position du point d'origine soit détectée.

EP3289308B1


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