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Europäisches Patentamt

Meßgerät zur Abtastung einer Oberflächenkontur eines Werkstücks | Measuring device for scanning a surface contour of a workpiece

Patentnummer:DE102005018919B4
IPC Hauptklasse:G01B000520
Anmelder:JENOPTIK Industrial Metrology Germany GmbH (0)
Alte Tuttlinger Strasse 20, 78056 Villingen-Schwenningen, DE
Erfinder:
Anmeldung:22.04.05
Offenlegung:22.04.05
Patenterteilung:10.12.20

Abstract / Hauptanspruch
Meßgerät zur Abtastung einer Oberflächenkontur eines Werkstücks, mit einem um eine Drehachse (2) schwenkbar gelagerten Tastarm (4), der an seinem freien Ende eine Tastspitze (6) zur Abtastung der Oberflächenkontur aufweist und mit einem mechanisch-elektrischen Wandler zur Umwandlung der Auslenkung des Tastarmes (4) in ein entsprechendes elektrisches Meßsignal und mit einer elektromechanischen Belastungseinrichtung gekoppelt ist, die in Abhängigkeit von einem elektrischen Speisestrom ein Drehmoment auf den Tastarm (4) erzeugt, um die Tastspitze (6) an die Oberfläche des Werkstücks anzudrücken,
wobei Mittel vorgesehen sind, die in Abhängigkeit von der Änderung der Geschwindigkeit der Tastspitze (6) in Tastrichtung ein Steuersignal erzeugen und
wobei Mittel vorgesehen sind, die in Abhängigkeit von diesem Steuersignal den Speisestrom der elektromechanischen Belastungseinrichtung beeinflussen,
dadurch gekennzeichnet,
daß Mittel vorgesehen sind, die den Speisestrom für die elektromechanische Belastungseinrichtung verringern, wenn das Steuersignal einen von Hand oder durch ein Programm vorgegebenen Grenzwert überschreitet.

Measuring device for scanning a surface contour of a workpiece, with a probe arm (4) pivoted about an axis of rotation (2) and having a probe tip (6) at its free end for scanning the surface contour and with a mechanical-electrical converter for converting the deflection of the Probe arm (4) is coupled to a corresponding electrical measurement signal and to an electromechanical loading device, which, depending on an electrical supply current, generates a torque on the probe arm (4) in order to press the probe tip (6) against the surface of the workpiece,
wherein means are provided which generate a control signal as a function of the change in the speed of the probe tip (6) in the probe direction and
whereby means are provided which influence the feed current of the electromechanical loading device as a function of this control signal,
characterized,
that means are provided which reduce the feed current for the electromechanical loading device when the control signal exceeds a limit value predetermined by hand or by a program.

DE102005018919B4


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