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Europäisches Patentamt

Verfahren und Vorrichtung zur Kantenermittlung eines Messobjekts in der optischen Messtechnik | Method and device for determining the edge of a measurement object in optical measurement technology

Patentnummer:DE102016107900B4
IPC Hauptklasse:G01B001124
Anmelder:Carl Zeiss AG (0)
Carl Zeiss Strasse 22, 73447 Oberkochen, DE
Erfinder:
Anmeldung:28.04.16
Offenlegung:28.04.16
Patenterteilung:08.10.20

Abstract / Hauptanspruch
Verfahren zur Kantenermittlung eines Messobjekts (54) in der optischen Messtechnik, mit den Schritten:
- Erfassen von ersten Bilddaten des Messobjekts (54) bei einer Auflicht-Beleuchtung (56);
- Erfassen von zweiten Bilddaten des Messobjekts (54) bei einer Durchlicht-Beleuchtung (58);
- Ermitteln einer ersten vorläufigen Kantenposition einer Kante (62) des Messobjekts (54) durch Auswertung der ersten Bilddaten;
- Ermitteln einer zweiten vorläufigen Kantenposition der Kante (62) des Messobjekts (54) durch Auswertung der zweiten Bilddaten; und
- Ermitteln der Kantenposition des Messobjekts (54) durch Mittelwertbildung zwischen der ersten und zweiten vorläufigen Kantenposition, wobei die Mittelwertbildung die Bildung eines gewichteten Mittels aufweist, wobei die Gewichtung abhängig ist von einer Abmessung des Messobjekts (54) parallel zu einer optischen Achse eines optischen Sensors (38), mit dem die ersten und zweiten Bilddaten erfasst werden, und/oder von einer Neigung einer Fläche (60) des Messobjekts (54) relativ zu der optischen Achse.

Method for determining the edge of a measurement object (54) in optical measurement technology, with the steps:
- Acquisition of first image data of the measurement object (54) with incident light illumination (56);
- Acquisition of second image data of the measurement object (54) with a transmitted light illumination (58);
- determining a first preliminary edge position of an edge (62) of the measurement object (54) by evaluating the first image data;
- determining a second preliminary edge position of the edge (62) of the measurement object (54) by evaluating the second image data; and
- Determination of the edge position of the measurement object (54) by averaging between the first and second preliminary edge position, the averaging comprising the formation of a weighted average, the weighting being dependent on a dimension of the measurement object (54) parallel to an optical axis of an optical sensor (38), with which the first and second image data are acquired, and / or from an inclination of a surface (60) of the measurement object (54) relative to the optical axis.



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