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Europäisches Patentamt

Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen von dimensionellen und/oder geometrischen Eigenschaften eines Messobjekts | Method and device for determining dimensional and / or geometric properties of a measurement object

Patentnummer:DE102017118767B4
IPC Hauptklasse:G01B001124
Anmelder:Carl Zeiss AG (0)
Carl Zeiss Strasse 22, 73447 Oberkochen, DE
Erfinder:
Anmeldung:17.08.17
Offenlegung:17.08.17
Patenterteilung:08.10.20

Abstract / Hauptanspruch
Verfahren zum Bestimmen von dimensionellen und/oder geometrischen Eigenschaften eines Messobjekts (30), mit den Schritten:
- Bereitstellen einer ersten Messanordnung (12) zum Bestimmen von 3D-Koordinaten an ersten ausgewählten Messpunkten (36) des Messobjekts (30),
- Bereitstellen einer zweiten Messanordnung (24) zum Bestimmen von Oberflächennormalen (32) an zweiten ausgewählten Messpunkten (34) des Messobjekts (30), wobei die zweite Messanordnung eine Anzahl an Lichtquellen (26) und eine erste Kamera (16) beinhaltet, die auf das Messobjekt (30) ausgerichtet ist,
- Bestimmen von 3D-Koordinaten an den ersten ausgewählten Messpunkten (36) unter Verwendung der ersten Messanordnung (12), wobei die 3D-Koordinaten erste Messergebnisse definieren,
- Bestimmen von Oberflächennormalen (32) an den zweiten ausgewählten Messpunkten (34) unter Verwendung der zweiten Messanordnung (24), wobei die Oberflächennormalen (32) zweite Messergebnisse definieren, und
- Bestimmen der dimensionellen und/oder geometrischen Eigenschaften des Messobjekts (30) unter Verwendung der ersten und zweiten Messergebnisse, dadurch gekennzeichnet, dass ferner ein Kalibrierdatensatz (22) bereitgestellt wird, der individuelle Abstrahlcharakteristika (64) der Lichtquellen (26) repräsentiert, und dass die zweiten Messergebnisse unter Verwendung des Kalibrierdatensatzes (22) und unter Verwendung der ersten Messergebnisse bestimmt werden.

Method for determining dimensional and / or geometric properties of a measurement object (30), comprising the steps:
- Provision of a first measuring arrangement (12) for determining 3D coordinates at first selected measuring points (36) of the measuring object (30),
- Provision of a second measuring arrangement (24) for determining surface normals (32) at second selected measuring points (34) of the measuring object (30), wherein the second measuring arrangement contains a number of light sources (26) and a first camera (16), which on the measurement object (30) is aligned,
- Determination of 3D coordinates at the first selected measuring points (36) using the first measuring arrangement (12), the 3D coordinates defining first measurement results,
- determining surface normals (32) at the second selected measuring points (34) using the second measuring arrangement (24), the surface normals (32) defining second measurement results, and
- Determination of the dimensional and / or geometric properties of the measurement object (30) using the first and second measurement results, characterized in that a calibration data set (22) is also provided which represents individual radiation characteristics (64) of the light sources (26), and that the second measurement results are determined using the calibration data set (22) and using the first measurement results.



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