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Europäisches Patentamt

Vorrichtung zur interferentiellen Abstandsmessung | Device for interferential distance measurement

Patentnummer:DE102011005937B4
IPC Hauptklasse:G01B001114
Anmelder:Dr. Johannes Heidenhain GmbH (0)
83301, Traunreut, DE
Erfinder:Huber, Walter (0)
83278, Traunstein, DE
Joerger, Ralph (0)
Dr., 83278, Traunstein, DE
Anmeldung:23.03.11
Offenlegung:23.03.11
Patenterteilung:22.10.20

Abstract / Hauptanspruch
Vorrichtung zur interferentiellen Abstandsmessung, bestehend aus
- einer Lichtquelle,
- einer Abtasteinheit mit einer als transparente Glasplatte ausgebildeten Abtastplatte, welche Aufspaltmittel umfasst, die ein von der Lichtquelle emittiertes Strahlenbündel in mindestens ein Messstrahlenbündel und mindestens ein Referenzstrahlenbündel aufspalten, wobei das Referenzstrahlenbündel nach der Aufspaltung ausschließlich in der Abtastplatte propagiert, bevor es an einem Vereinigungsort mit dem Messstrahlenbündel zur interferierenden Überlagerung gelangt und
- einem beabstandet von der Abtasteinheit angeordneten Reflektor, den das Messstrahlenbündel beaufschlagt sowie
- einer Detektoranordnung, über die mindestens ein Abstandssignal aus den interferierenden Mess- und Referenzstrahlenbündeln bezüglich des Abstands zwischen der Abtastplatte und dem Reflektor erfassbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Reflektor (22; 122) derart ausgebildet ist, dass das darauf einfallende Messstrahlenbündel (M) in mindestens einer Richtung Retroreflexion erfährt, so dass das Referenzstrahlenbündel (R) und das Messstrahlenbündel (M) unabhängig von einer eventuellen Relativverkippung von Abtasteinheit (10; 100) und Reflektor (22; 122) nach dem Vereinigungsort ihre relativen Ausbreitungsrichtungen beibehalten.

Device for interferential distance measurement, consisting of
- a light source,
- A scanning unit with a scanning plate designed as a transparent glass plate, which comprises splitting means which split a beam emitted by the light source into at least one measuring beam and at least one reference beam, the reference beam after the splitting propagating exclusively in the scanning plate before it is at a merging point with the measuring beam reaches the interfering superposition and
- A reflector which is arranged at a distance from the scanning unit and which is acted upon by the measuring beam and
- A detector arrangement via which at least one distance signal from the interfering measuring and reference beams can be detected with respect to the distance between the scanning plate and the reflector, characterized in that the reflector (22; 122) is designed in such a way that the measuring beam (M) incident thereon experiences retroreflection in at least one direction, so that the reference beam (R) and the measuring beam (M) are independent of any relative tilting of the scanning unit (10; 100) and reflector (22 ; 122) maintain their relative directions of propagation after the place of union.



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