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Verfahren zur Ermittlung von Korrekturdaten zur Korrektur von temperaturabhängigen Messdaten eines optischen Sensors

Patentnummer:DE102017203084B4
IPC Hauptklasse:G01B001103
Anmelder:Carl Zeiss AG (17)
Carl Zeiss Strasse 22, 73447 Oberkochen, DE
Erfinder:Grimm, Johannes (0)
Anmeldung:24.02.17
Patenterteilung:29.10.20
Einspruch bis:29.07.21

Abstract / Hauptanspruch
Verfahren der Ermittlung von Korrekturdaten zur Korrektur von temperaturabhängigen Messdaten zur Koordinatenmessung, welche mit zumindest einem temperaturabhängigen Fehler eines optischen Sensors behaftet sind, umfassend die Schritte
- Vermessen (S1) zumindest eines Normals als Referenzkörper (6, 7; 9, 12) mit einem optischen Sensor (1) bei zumindest zwei verschiedenen Temperaturen ,
- Ermitteln (S2) von Messdaten (10', 11'; 13', 14') des optischen Sensors bei den verschiedenen Temperaturen,
- Ermitteln (S3) von Korrekturdaten (10", 11") zur Korrektur des zumindest einen temperaturabhängigen Fehlers des Sensors, und Zuordnen der Korrekturdaten zu den verschiedenen Temperaturen.


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