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Europäisches Patentamt

VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ERFASSUNG VON OBERFLÄCHENTOPOGRAPHIEN | DISPOSITIF ET PROCEDE DE DETECTION DE TOPOGRAPHIES DE SURFACE | DEVICE AND METHOD FOR DETECTING SURFACE TOPOGRAPHIES

Patentnummer:EP3101385B1
IPC Hauptklasse:G01B002104
Anmelder:Carl Zeiss AG (0)
07745, Jena, DE
Erfinder:
Anmeldung:04.04.16
Offenlegung:05.06.15
Patenterteilung:07.10.20

Abstract / Hauptanspruch
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erfassung von Oberflächentopographien mit einem optischen Mikroskop (10) zum mikroskopischen Erfassen einer Topographie einer Oberfläche (13) einer Probe (12) in Richtung einer Höhenkoordinate (z) in einer zeitlichen Abfolge von Einzelmessungen und mit einer Probenhalterung (20) zum Halten der Probe (12). Die Vorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, dass ein Referenzsensor (30, 31) vorhanden ist zum Messen von Änderungen eines Höhenabstands zwischen dem Mikroskop (10) und der Probenhalterung (20) und dass eine Steuer- und Auswerteeinheit (18) vorhanden ist zum Verarbeiten von Messdaten des Mikroskops (10) und des Referenzsensors (30, 31). Die Erfindung betrifft außerdem ein Verfahren zur Erfassung von Oberflächentopographien mit einem optischen Mikroskop (10) zum mikroskopischen Erfassen einer Topographie einer Oberfläche (13) einer Probe.



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