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Europäisches Patentamt

Verfahren und Messsystem zur Vermessung eines Messobjekts | Method and measuring system for measuring an object to be measured

Patentnummer:DE102010054973B4
IPC Hauptklasse:G01B002104
Anmelder:Carl Zeiss AG (0)
Carl Zeiss Strasse 22, 73447 Oberkochen, DE
Erfinder:
Anmeldung:08.12.10
Offenlegung:08.12.10
Patenterteilung:24.09.20

Abstract / Hauptanspruch
Verfahren zur Vermessung eines Messobjekts (16), mit folgenden Schritten:
- Bereitstellen einer Messeinrichtung (10) mit zumindest einem Messaufnehmer (24),
- Aufnehmen eines Messobjekts (16) in der Messeinrichtung (10),
- Bereitstellen einer Datenverarbeitungseinrichtung (42), die mit der Messeinrichtung (10) zur Erfassung von Messdaten gekoppelt ist,
- Bereitstellen einer Datenverkörperung (52) des Messobjekts (16) in der Datenverarbeitungseinrichtung (42),
- Ausrichten des Messobjekts (16) in Bezug auf die Datenverkörperung (52),
- Zuführen des zumindest einen Messaufnehmers (24) auf das Messobjekt (16),
- Antasten einer Entität (58) des Messobjekts (16), die einem Geometrieelement (60) des Messobjekts (16) zurechenbar ist, und
- automatisiertes Selektieren eines korrespondierenden Geometrieelements (64) der Datenverkörperung (52) des Messobjekts (16) anhand der ermittelten Lage der Entität (58).

Method for measuring a measurement object (16), with the following steps:
- Provision of a measuring device (10) with at least one measuring sensor (24),
- Picking up a measurement object (16) in the measuring device (10),
- Providing a data processing device (42) which is coupled to the measuring device (10) for the acquisition of measurement data,
- Providing a data embodiment (52) of the test object (16) in the data processing device (42),
- Alignment of the measurement object (16) with respect to the data embodiment (52),
- feeding the at least one measuring sensor (24) onto the measurement object (16),
- Probing an entity (58) of the measurement object (16) which can be assigned to a geometric element (60) of the measurement object (16), and
- Automated selection of a corresponding geometry element (64) of the data embodiment (52) of the measurement object (16) on the basis of the determined position of the entity (58).

DE102010054973B4


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