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VERFAHREN ZUM VERMESSEN EINES WERKSTÜCKS UND KOORDINATENMESSGERÄT | PROCÉDÉ DE MESURE D'UNE PIÈCE ET APPAREIL DE MESURE DE COORDONNÉES | METHOD FOR MEASURING A WORK PIECE AND COORDINATE MEASURING DEVICE

Patentnummer:EP2331907B1
IPC Hauptklasse:G01B002104
Anmelder:Carl Zeiss AG (0)
Carl Zeiss Strasse 22, 73447 Oberkochen, DE
Erfinder:HELD, Tobias (0)
Eselerstraße 6, 86720 Nördlingen, DE
Kunzmann, Steffen (0)
01279, Dresden, DE
LOTZE, Werner (0)
Rudolf-Mauersberger-Strasse 1, 01309 Dresden, DE
Anmeldung:17.09.09
Offenlegung:01.10.08
Patenterteilung:16.09.20

Abstract / Hauptanspruch
Die Erfindung betrifft die Vermessung eines Werkstücks (52), wobei zumindest ein Punkt (53) einer Oberfläche des Werkstücks (52) von einem Taster (11) angetastet wird, wobei der Taster (11) eine Antastkraft (f') auf die Oberfläche (51) ausübt und der Taster (11) relativ zu einer Befestigung des Tasters (11) ausgelenkt wird. Aufgrund der Auslenkung (Vektor a) wird eine Position des Punktes (53) der Oberfläche bestimmt. Eine Richtungsabhängigkeit einer Nachgiebigkeit des Tasters (11) wird ermittelt und/oder ist bekannt. Der Taster (11) und das Werkstück (52) werden derart unter Berücksichtigung der Richtungsabhängigkeit relativ zueinander positioniert und/oder ausgerichtet, dass es beim Antasten des Punktes (53) der Oberfläche (51) nicht oder mit geringer Wahrscheinlichkeit zu einem unbeabsichtigten Abrutschen des Tasters (11) an der Oberfläche (51) oder nicht oder mit geringer Wahrscheinlichkeit zu einem unbeabsichtigten Abweichen des Tasters (11) von einem beabsichtigten Weg auf der Oberfläche (51) kommt.

The invention relates to measuring a work piece (52), wherein at least one point (53) of a surface of the work piece (52) is sampled by a feeler (11), wherein the feeler (11) exerts a probing force (f') on the surface (51) and the feeler (11) is deflected relative to a mounting of the feeler (11). On the basis of the deflection (vector a), a position of the point (53) of the surface is determined. A directional dependence of a flexibility of the feeler (11) is determined and/or is known. The feeler (11) and the work piece (52) are positioned and/or oriented relative to each other, while taking into consideration the directional dependence, such that during sampling of the point (53) of the surface (51) unintentional slipping of the feeler (11) on the surface (51) does not occur, or occurs only with low probability, or an unintentional deviation of the feeler (11) from an intended path on the surface (51) does not occur, or occurs only with low probability.

L'invention concerne un procédé de mesure d'une pièce (52), selon lequel au moins un point (53) d'une surface de la pièce (52) est palpé par un palpeur (11), ce palpeur (11) exerçant une force de palpage (f') sur la surface (51) et étant dévié par rapport à un élément de fixation du palpeur (11). D'après la déviation (vecteur a), une position du point (53) de la surface est déterminée. Une dépendance directionnelle d'une flexibilité du palpeur (11) est déterminée et/ou connue. Le palpeur (11) et la pièce (52) sont positionnés et/ou orientés l'un par rapport à l'autre en prenant en considération la dépendance directionnelle de sorte que, lors du palpage du point (53) de la surface (51), la probabilité que le palpeur (11) glisse inopinément sur la surface (51) ou s'écarte inopinément d'une trajectoire prévue sur la surface (51) soit nulle ou faible.

The invention relates to measuring a work piece (52), wherein at least one point (53) of a surface of the work piece (52) is sampled by a feeler (11), wherein the feeler (11) exerts a probing force (f’) on the surface (51) and the feeler (11) is deflected relative to a mounting of the feeler (11). On the basis of the deflection (vector a), a position of the point (53) of the surface is determined. A directional dependence of a flexibility of the feeler (11) is determined and/or is known. The feeler (11) and the work piece (52) are positioned and/or oriented relative to each other, while taking into consideration the directional dependence, such that during sampling of the point (53) of the surface (51) unintentional slipping of the feeler (11) on the surface (51) does not occur, or occurs only with low probability, or an unintentional deviation of the feeler (11) from an intended path on the surface (51) does not occur, or occurs only with low probability.

EP2331907B1


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