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Europäisches Patentamt

Verfahren zum Erfassen von Verlagerungen einer Probe gegenüber einem Objektiv | Method for detecting displacements of a sample in relation to an objective

Patentnummer:DE102019108696B3
IPC Hauptklasse:G01B001100
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:03.04.19
Offenlegung:03.04.19
Patenterteilung:27.08.20

Abstract / Hauptanspruch
Zum Erfassen von Verlagerungen einer Probe (2) gegenüber einem Objektiv (3) wird Licht (43) von mindestens einem mit der Probe (2) verbundenen Referenzobjekt (40) zu aufeinander folgenden Zeitpunkten mit dem Objektiv (3) in Referenzobjektbilder (25) in einer Bildebene (15) abgebildet. Die Referenzobjektbilder (25) in der Bildebene (15) werden mit einer Kamera (12) aufgezeichnet, und miteinander verglichen. Dabei werden Anteile des Lichts (43), die aus einem Zentralbereich einer Pupille (19) des Objektivs (3) stammen, vor der Kamera (12) ausgeblendet.

To detect displacements of a sample (2) with respect to an objective (3), light (43) from at least one reference object (40) connected to the sample (2) is converted into reference object images (25) in reference object images (25) at successive points in time with the objective (3) an image plane (15) shown. The reference object images (25) in the image plane (15) are recorded with a camera (12) and compared with one another. Parts of the light (43) which originate from a central region of a pupil (19) of the objective (3) are masked out in front of the camera (12).

DE102019108696B3


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