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Europäisches Patentamt

MEASURING PROBE FOR MEASURING THE THICKNESS OF THIN FILMS | MESSSONDE ZUR MESSUNG DER DICKE DÜNNER SCHICHTEN | SONDE DE MESURE DE L'ÉPAISSEUR DE COUCHES MINCES

Patentnummer:EP2989417B1
IPC Hauptklasse:G01B000706
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:24.04.14
Offenlegung:26.04.13
Patenterteilung:12.08.20

Abstract / Hauptanspruch
Die Erfindung betrifft Messsonde zur Messung der Dicke dünner Schichten mit einem Gehäuse (12) und mit zumindest einem Sensorelement (14, 15), welches mit zumindest einem Federelement (33, 37) nachgiebig zum Gehäuse (12) gelagert ist und entgegen der Aufsetzrichtung und in dessen Längsachse (38) zur Messoberfläche (25) eines Messgegenstandes (26) weisend eine Aufsetzkalotte (31) aufweist, wobei an dem Gehäuse (12) eine Dämpfungseinrichtung (17) vorgesehen ist, welche in Aufsetzrichtung (28) des zumindest einen Sensorelementes (14, 15) wirkt, bevor das Sensorelement (14, 15) auf die Messoberfläche (25) des Messgegenstandes (26) aufsetzt und die Aufsetzbewegung des zumindest einen Sensorelementes (14, 15) in Richtung auf die Messoberfläche (25) des Messgegenstandes (26) dämpft.

The invention relates to a measuring probe for measuring the thickness of thin films, comprising a housing (12) and at least one sensor element (14, 15), which is supported resiliently with respect to the housing (12) by means of at least one spring element (33, 37) and has a contacting spherical cap (31) pointing opposite the contacting direction and along the longitudinal axis (38) of the sensor element toward the measurement surface (25) of a measurement object (26), wherein a damping device (17) is provided on the housing (12), which damping device acts in the contacting direction (28) of the at least one sensor element (14, 15) before the sensor element (14, 15) contacts the measurement surface (25) of the measurement object (26) and damps the contacting motion of the at least one sensor element (14, 15) in the direction toward the measurement surface (25) of the measurement object (26).

L'invention concerne une sonde de mesure de l'épaisseur de couches minces, comprenant un boîtier (12) et au moins un élément détecteur (14, 15) qui est supporté élastiquement par au moins un élément à ressort (33, 37) par rapport au boîtier (12) et qui comporte une calotte de palpage (31) dirigée à l'opposé du sens de palpage et dans son axe longitudinal (38) par rapport à la surface de mesure (25) d'un objet à mesurer (26). Le boîtier (12) comprend un système d'amortissement (17) qui agit dans le sens de palpage (28) du ou des éléments détecteurs (14, 15) avant que l'élément détecteur (14, 15) entre en contact avec la surface de mesure (25) de l'objet à mesurer (26) et qui amortit le mouvement de palpage du ou des éléments détecteurs (14, 15) en direction de la surface de mesure (25) de l'objet à mesurer (26).

EP2989417B1


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