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Europäisches Patentamt

DISTANCE SENSOR, ALIGNMENT SYSTEM AND METHOD | ABSTANDSSENSOR, AUSRICHTUNGSSYSTEM UND -VERFAHREN | CAPTEUR DE DISTANCE, SYSTÈME ET PROCÉDÉ D'ALIGNEMENT

Patentnummer:EP3504510B1
IPC Hauptklasse:G01B002116
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:25.08.17
Offenlegung:26.08.16
Patenterteilung:19.08.20

Abstract / Hauptanspruch
A distance sensor (1) for estimating a distance to a surface (OS) of an object (O), the distance sensor including a micro electric mechanical system (MEMS) (5), a detection means (30) and a processing device (40). The MEMS comprises a MEMS device (10) having a surface (12), denoted as MEMS sensor surface, to be arranged opposite the surface (OS) of said object (O) and a MEMS driver (20) for generating an ac driving signal to cause the MEMS sensor surface (12) to vibrate. The detection means (30) is to determine a value of a property of a dynamic behavior of the MEMS (5) and the processing device (40) is to estimate an average distance (h) as a measured distance (D2) between the MEMS sensor surface (12) and the surface (Os) of the object (O) based on the determined value for said property.

L'invention concerne un capteur de distance (1) permettant d'estimer une distance jusqu'à une surface (OS) d'un objet (O), le capteur de distance comprenant un microsystème électromécanique (MEMS) (5), un moyen de détection (30) et un dispositif de traitement (40). Le MEMS comprend un dispositif MEMS (10) ayant une surface (12), notée surface de capteur MEMS, destinée à être disposée à l'opposé de la surface (OS) dudit objet (O), et un pilote MEMS (20) permettant de produire un signal de commande de courant alternatif afin d'amener la surface de capteur MEMS (12) à vibrer. Le moyen de détection (30) est destiné à déterminer une valeur d'une propriété d'un comportement dynamique du MEMS (5) et le dispositif de traitement (40) est destiné à estimer une distance moyenne (h) en tant que distance mesurée (D2) entre la surface de capteur MEMS (12) et la surface (OS) de l'objet (O) en fonction de la valeur déterminée pour ladite propriété.

EP3504510B1


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