patentverein.de - Patente
Patentethik
Überwachung
Beispielhaft
Trivial
Kurios
Unverständlich
Zurück Original-Dokument
Europäisches Patentamt

Verfahren und Vorrichtung zum optischen Vermessen eines ersten Oberflächenabschnitts eines Prüflings | Method and device for optically measuring a first surface section of a test specimen

Patentnummer:DE102018114022B4
IPC Hauptklasse:G01B001124
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:12.06.18
Offenlegung:12.06.18
Patenterteilung:09.07.20

Abstract / Hauptanspruch
Verfahren zum optischen Vermessen eines ersten Oberflächenabschnitts (4, 10) einer Oberfläche eines Prüflings (1) mit den Schritten
Erzeugen von elektromagnetischer Strahlung (5, 6) mit einer Strahlungsquelle, Bestrahlen des ersten Oberflächenabschnitts (4, 10) mit der elektromagnetischen Strahlung (5, 6) und
Erfassen einer Intensität der von dem ersten Oberflächenabschnitt (4, 10) reflektierten oder gestreuten elektromagnetischen Strahlung (5, 6) mit einem Detektor, wobei die Oberfläche einen zweiten Oberflächenabschnitt (7, 14) aufweist und wobei die Strahlungsquelle, der Detektor, der erste Oberflächenabschnitt und der zweite Oberflächenabschnitt derart zueinander angeordnet sind, dass eine Intensität der elektromagnetischen Strahlung (5, 6), die nacheinander an dem ersten Oberflächenabschnitt (4, 10) und an dem zweiten Oberflächenabschnitt (7, 14) reflektiert oder gestreut wird, von dem Detektor erfassbar ist, und
Anordnen einer Blende (8) zwischen dem ersten Oberflächenabschnitt (4, 10) und dem zweiten Oberflächenabschnitt (7, 14) derart, dass die elektromagnetische Strahlung (5, 6) nicht an dem zweiten Oberflächenabschnitt (7, 14) reflektiert oder gestreut wird.

Method for the optical measurement of a first surface section (4, 10) of a surface of a test specimen (1) with the steps
Generating electromagnetic radiation (5, 6) with a radiation source, irradiating the first surface section (4, 10) with the electromagnetic radiation (5, 6) and
Detecting an intensity of the electromagnetic radiation (5, 6) reflected or scattered by the first surface section (4, 10) with a detector, the surface having a second surface section (7, 14) and the radiation source, the detector, the first surface section and the second surface section are arranged relative to one another in such a way that an intensity of the electromagnetic radiation (5, 6) which is successively applied to the first surface section (4, 10) and is reflected or scattered on the second surface section (7, 14), can be detected by the detector, and
Arranging an aperture (8) between the first surface section (4, 10) and the second surface section (7, 14) such that the electromagnetic radiation (5, 6) is not reflected or scattered on the second surface section (7, 14).

DE102018114022B4


Kommentare zu diesem Patent schicken Sie bitte an .
Datenschutzerklärung