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Europäisches Patentamt

Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen eines Abstandes zweier voneinander entlang einer ersten Richtung beabstandeter optischer Grenzflächen | Method and device for determining a distance between two optical interfaces spaced apart from one another along a first direction

Patentnummer:DE102014216227B4
IPC Hauptklasse:G01B001114
Anmelder:Carl Zeiss AG (0)
07745, Jena, DE
Erfinder:
Anmeldung:14.08.14
Offenlegung:14.08.14
Patenterteilung:18.06.20

Abstract / Hauptanspruch
Verfahren zum Bestimmen des Abstands zweier voneinander entlang einer ersten Richtung beabstandeter optischer Grenzflächen, bei dem folgende Schritte durchgeführt werden:
a) Abbilden eines Musters in eine Ebene quer zur ersten Richtung und Aufnehmen eines Bildes des in der Ebene abgebildeten Musters,
b) Wiederholen des Schrittes a) für verschiedene Positionen der Ebene, in die das Muster abgebildet wird, in der ersten Richtung, wobei die verschiedenen Positionen einen Bereich in der ersten Richtung abdecken, in dem die beiden optischen Grenzflächen liegen,
c) Ermitteln eines ersten Bildes aus den Bildern von Schritt a), wobei die Ebene, in die das mit dem ersten Bild aufgenommene Muster abgebildet war, mit einer ersten der beiden optischen Grenzflächen zusammenfällt oder den geringsten Abstand entlang der ersten Richtung zur ersten optischen Grenzfläche im Vergleich zu den Ebenen, in denen das mit den anderen Bildern von Schritt a) aufgenommene Muster abgebildet war, aufweist, und Bestimmen der Position des ersten Bildes in der ersten Richtung,
d) Ermitteln eines zweiten Bildes aus den Bildern von Schritt a), wobei die Ebene, in die das mit dem zweiten Bild aufgenommene Muster abgebildet war, mit einer zweiten der beiden optischen Grenzflächen zusammenfällt oder den geringsten Abstand entlang der ersten Richtung zur zweiten optischen Grenzfläche im Vergleich zu den Ebenen, in denen das mit den anderen Bildern von Schritt a) aufgenommene Muster abgebildet war, aufweist, und Bestimmen der Position des zweiten Bildes in der ersten Richtung, und
e) Berechnen des Abstands anhand der bestimmten Positionen des ersten und zweiten Bildes.

Method for determining the distance between two optical interfaces spaced apart from one another in a first direction, in which the following steps are carried out:
a) imaging a pattern in a plane transverse to the first direction and taking an image of the pattern depicted in the plane,
b) repeating step a) in the first direction for different positions of the plane in which the pattern is imaged, the different positions covering an area in the first direction in which the two optical interfaces lie,
c) determining a first image from the images from step a), the plane into which the pattern recorded with the first image was imaged coinciding with a first of the two optical interfaces or the smallest distance along the first direction to the first optical interface compared to the planes in which the pattern recorded with the other images from step a) was shown, and determining the position of the first image in the first direction,
d) determining a second image from the images from step a), the plane into which the pattern recorded with the second image was imaged coinciding with a second of the two optical interfaces or the smallest distance along the first direction to the second optical interface compared to the planes in which the pattern recorded with the other images from step a) was shown, and determining the position of the second image in the first direction, and
e) Calculating the distance based on the determined positions of the first and second images.

DE102014216227B4


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