patentverein.de - Patente
Patentethik
Überwachung
Beispielhaft
Trivial
Kurios
Unverständlich
Zurück Original-Dokument
Europäisches Patentamt

Messvorrichtung | Measuring device

Patentnummer:DE102018202625B4
IPC Hauptklasse:G01B001130
Anmelder:FANUC CORPORATION (0)
Yamanashi, JP
Erfinder:
Anmeldung:21.02.18
Offenlegung:15.03.17
Patenterteilung:18.06.20

Abstract / Hauptanspruch
Maschinenmessvorrichtung (1), angeordnet in einem Bearbeitungswerkzeug, wobei die Maschinenmessvorrichtung ein zu bearbeitendes Ziel als ein Messziel (51) misst, umfassend:
eine Laserquelle (20), welche einen Laserstrahl emittiert;
eine Verschiebungsvorrichtung (30), welche eine Abtastbestrahlung mit dem Laserstrahl durch Verschieben des Messziels (51) relativ zu der Laserquelle (20) ausführt;
einen Halbspiegel (31), welcher veranlasst, dass der Laserstrahl von der Laserquelle (20) vertikal in das Messziel (51) eintritt;
eine Linse (32), welche einen an dem Messziel (51) gestreuten, gebeugten und reflektierten Laserstrahl fokussiert;
eine Projektionsebene (33) für ein Fokalbild eines durch die Linse (32) hindurchgetretenen Laserstrahls;
eine Lichtempfangselementeinheit (41), welche ein optisches Signal an der Projektionsebene (33) in ein elektrisches Signal umwandelt und ein analoges Signal ausgibt;
einen A/D Konverter (42), welcher das analoge Signal von der Lichtempfangselementeinheit in ein digitales Signal umwandelt; und
eine mit dem A/D Konverter (42) verbundene Berechnungseinheit (43), wobei
die Verschiebungsvorrichtung (30) eingerichtet ist zuzulassen, dass Positionen des Halbspiegels (31), der Laserquelle (20), der Linse (32) und der Projektionsebene relativ zueinander geändert werden, um eine bestimmte Brennweite beizubehalten, und eingerichtet ist, einen Rotationswinkel des Halbspiegels (31) an eine Geschwindigkeit in Reaktion auf eine Geschwindigkeit einer Positionsanpassung des Messziels (51) anzupassen, wodurch der vertikale Einfall beibehalten wird,
die Berechnungseinheit (43) eingerichtet ist, durch die Lichtempfangselementeinheit (41) durch die Abtastbestrahlung mit dem Laserstrahl erfasste empfangene Strahlinformation in chronologischer Reihenfolge zu speichern, die in chronologischer Reihenfolge gespeicherte empfangene Strahlinformation in Koordinaten zur Laserbestrahlungsabtastung umzuwandeln, eine Strahlintensität an jedem Punkt auf einer Oberfläche des Messziels (51) zu berechnen, und eine Strahlintensitätsverteilung zu erfassen.

Machine measuring device (1) arranged in a machining tool, the machine measuring device measuring a target to be machined as a measuring target (51), comprising:
a laser source (20) which emits a laser beam;
a shifting device (30) which performs scanning irradiation with the laser beam by shifting the measurement target (51) relative to the laser source (20);
a half mirror (31) which causes the laser beam from the laser source (20) to enter the measurement target (51) vertically;
a lens (32) which focuses a laser beam scattered, diffracted and reflected on the measurement target (51);
a projection plane (33) for a focal image of a laser beam passing through the lens (32);
a light receiving element unit (41) which converts an optical signal at the projection plane (33) into an electrical signal and outputs an analog signal;
an A / D converter (42) which converts the analog signal from the light receiving element unit into a digital signal; and
a calculation unit (43) connected to the A / D converter (42), wherein
the shifting device (30) is arranged to allow positions of the half mirror (31), the laser source (20), the lens (32) and the projection plane to be changed relative to one another in order to maintain a certain focal length, and is set up a rotation angle of the half mirror (31) adapt to a speed in response to a speed of position adjustment of the measurement target (51), whereby the vertical incidence is maintained,
the calculation unit (43) is arranged to store received beam information received by the light receiving element unit (41) by the scanning radiation with the laser beam in chronological order, to convert the received beam information stored in chronological order into coordinates for laser radiation scanning, a beam intensity at each point on a surface of the measurement target (51) to calculate, and to detect a beam intensity distribution.

DE102018202625B4


Kommentare zu diesem Patent schicken Sie bitte an .
Datenschutzerklärung