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Europäisches Patentamt

Device and method for optically measuring at least one dimension of an object with point-shaped, divergent light sources | Vorrichtung und Verfahren zur optischen Messung zumindest einer Dimension eines Objektes mittels punktförmiger, divergenter Lichtquellen | Dispositif et procédé pour mesurer optiquement au moins une dimension d'un objet avec des sources lumineuses divergentes en forme de point

Patentnummer:EP2530426B1
IPC Hauptklasse:G01B001102
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:14.05.12
Offenlegung:31.05.11
Patenterteilung:17.06.20

Abstract / Hauptanspruch
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zur optischen Messung zumindest einer Dimension eines Objektes (2), insbesondere eines flachen Objektes (2) wie eines Wafers, umfassend zumindest eine im Wesentlichen punktförmige, divergente Lichtquelle (3), zumindest einen der Lichtquelle (3) gegenüberliegenden Detektor (4) sowie zumindest eine Manipulationseinheit (7) zum Halten und/oder Bewegen des Objektes (2). Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die Vorrichtung (1) mit mehr als einer dem Detektor (4) gegenüberliegenden divergenten Lichtquelle (3) ausgebildet ist. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zur optischen Messung zumindest einer Dimension eines Objektes (2), insbesondere eines flachen Objektes (2) wie eines Wafers, wobei das Objekt (2) mit punktförmig divergentem Licht beleuchtet und dessen Projektion von zumindest einem sich im Strahlungsbereich befindenden Detektor (4) erfasst wird, wobei zumindest zwei Lichtquellen (3) mit zumindest zwei Projektionen auf dem zumindest einen Detektor (4) erfasst werden und aus dadurch erhaltenen Daten eine Tiefeninformation des Objektes (2) bestimmt wird. Dadurch ermöglichen eine Vorrichtung (1) und ein erfindungsgemäßes Verfahren eine einfache, robuste Konstruktion, eine nur geringe Schmutzanfälligkeit sowie eine zusätzliche Bestimmung einer Tiefeninformation mit nur minimalem Konstruktionsaufwand.

EP2530426B1


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