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Europäisches Patentamt

DETECTION METHOD AND DETECTION DEVICE | ERKENNUNGSVERFAHREN UND ERKENNUNGSVORRICHTUNG | PROCÉDÉ DE DÉTECTION ET DISPOSITIF DE DÉTECTION

Patentnummer:EP2535923B1
IPC Hauptklasse:G01B001102
Anmelder:NIKON CORPORATION (0)
12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku; Tokyo 100-8331, JP
Erfinder:
Anmeldung:08.02.11
Offenlegung:08.02.10
Patenterteilung:17.06.20

Abstract / Hauptanspruch
A detection method of detecting a position of a particular one of a plurality of substrates stacked on each other, includes applying illumination to a region covering a portion of an edge of the particular substrate, obtaining an image by imaging the region, and identifying a position of the edge of the particular substrate based on a position of a step-like portion present in the image. At least one of (i) a direction in which the illumination is applied to the region in the applying and (ii) a direction in which the region is imaged in the obtaining is at angle with respect to a plane orientation of the particular substrate.

The disclosed detection method, which detects the position of a particular substrate from among a plurality of stacked substrates, is provided with: a step for radiating illumination onto a region containing a portion of the edge of the particular substrate; a step for acquiring a captured image of the region; and a step for identifying the position of the edge of the particular substrate on the basis of the position of an uneven section that appears in the image. At least one of the direction of radiated illumination onto the region during the step for radiating illumination and the direction of imaging the region during the step for acquiring an image is inclined with respect to the direction of the surface of the substrate.

La présente invention concerne un procédé de détection qui détecte la position d'un substrat particulier parmi une pluralité de substrats empilés comprenant: une étape pour le rayonnement de lumière sur une zone contenant une partie du bord du substrat particulier ; une étape pour l'acquisition d'une image capturée de la zone ; et une étape pour l'identification de la position du bord du substrat particulier en fonction de la position d'une section non uniforme qui apparaît sur l'image. Au moins une parmi la direction de la lumière rayonnée sur la zone lors de l'étape de rayonnement de lumière et la direction de formation d'image de la zone lors de l'étape d'acquisition d'une image est inclinée par rapport à la direction de la surface du substrat.

EP2535923B1


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