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Europäisches Patentamt

METHOD AND DEVICE FOR CONTACTLESS ASSESSMENT OF THE SURFACE QUALITY OF A WAFER | VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUR BERÜHRUNGSLOSEN BEURTEILUNG DER OBERFLÄCHENBESCHAFFENHEIT EINES WAFERS | PROCÉDÉ ET DISPOSITIF D'ÉVALUATION SANS CONTACT DE L'ÉTAT DE SURFACE D'UNE TRANCHE

Patentnummer:EP3341679B1
IPC Hauptklasse:G01B001130
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:25.08.16
Offenlegung:25.08.15
Patenterteilung:24.06.20

Abstract / Hauptanspruch
Ein Verfahren und eine Einrichtung zur berührungslosen Beurteilung der Oberflächenbeschaffenheit eines Werkstücks (W) nach der winkelaufgelösten Streulichtmesstechnik umfasst einen optischen Sensor (10), der einen Messfleck (14) beleuchtet. Die zurückreflektierte Intensität der Strahlung wird mittels eines Zeilensensors (16) detektiert und daraus ein Intensitäts-Kennwert (Ig) ermittelt. Es wird ein horizontaler Anfangs-Drehwinkel (Θ) ermittelt, bei dem der Intensitäts-Kennwert (Ig) maximal ist. In einer Mess-Betriebsart werden Oberflächen-Kennwerte unter Berücksichtigung dieses Anfangs-Drehwinkels (Θ) berechnet. Das Messverfahren zeichnet sich durch extrem hohe laterale und vertikale Ortsauflösung bis in den Subnanometerbereich sowie hohe Messgeschwindigkeit aus.

A method and a device for contactless assessment of the surface quality of a workpiece (W) according to the angle-resolved scattered light measuring technique comprises an optical sensor (10) which illuminates a measuring spot (14). The intensity of the radiation which is reflected back is detected by means of a line sensor (16), and an intensity characteristic value (Ig) is determined therefrom. A horizontal initial rotational angle (Θ) at which the intensity characteristic value (Ig.) is at a maximum is determined. In a measuring operating mode, surface characteristic values are calculated taking into account this initial rotational angle (Θ). The measuring method is defined by extremely high lateral and vertical spatial resolution, extending into the sub-nanometre range, and by a high measuring speed.

Procédé et dispositif d'évaluation sans contact de l'état de surface d'une pièce (W) d'après la technique de mesure par lumière de diffusion à résolution angulaire, le dispositif comprenant un capteur optique (10) qui éclaire un spot de mesure (14). L'intensité renvoyée du rayonnement est détectée au moyen d'un capteur linéaire (16) et une valeur caractéristique d'intensité (Ig) en est déduite. Un angle de rotation initial (Θ) horizontal pour lequel la valeur caractéristique d'intensité (Ig) est maximale, est déterminé. Dans un mode de fonctionnement de mesure, des valeurs caractéristiques de surface sont calculées en prenant en considération cet angle de rotation initial (Θ). Le procédé de mesure se caractérise par une résolution spatiale latérale et verticale extrêmement élevée jusqu'à la plage des valeurs subnanométriques et une vitesse de mesure élevée.

EP3341679B1


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