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Europäisches Patentamt

Method of determining sub-divisional error of an encoder apparatus configured to measure relative position of relatively moveable parts

Patentnummer:US10627259B2
IPC Hauptklasse:G01D0005244
Anmelder:
Erfinder:Wallace, David Sven (0)
The Cowshed; Tinkley Lane, Nympsfield; Gloucestershire, GL10 3UH, GB
Anmeldung:11.10.17
Offenlegung:29.04.15
Patenterteilung:21.04.20

Abstract / Hauptanspruch
A method of determining sub-divisional error of an encoder apparatus, which is configured to measure relative position of relatively moveable parts of an apparatus on which an inspection device for inspecting an artefact is mounted, includes causing the inspection device to inspect a feature so as to obtain measurements of a surface of the feature by relatively moving the relatively moveable parts of the apparatus. The method also includes using the measurements of the surface of the feature obtained by the inspection device during the inspection of the feature to determine the sub-divisional error of the encoder apparatus.

L'invention concerne un procédé de détermination d'une erreur de sous-division d'un appareil codeur qui est configuré de sorte à mesurer la position des parties relativement mobiles d'un appareil sur lequel est monté un dispositif d'inspection destiné à inspecter un objet. Le procédé consiste à agir sur le dispositif d'inspection pour obtenir des mesures qui consistent à déplacer relativement lesdites parties relativement mobiles de l'appareil, et à utiliser les mesures pour déterminer l'erreur de sous-division de l'appareil codeur.

US10627259B2


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