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Europäisches Patentamt

Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Dicke von nicht magnetisierbaren Schichten auf einem magnetisierbaren Grundwerkstoff | Method and device for measuring the thickness of non-magnetizable layers on a magnetizable base material

Patentnummer:DE102017129150B4
IPC Hauptklasse:G01B000706
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:07.12.17
Offenlegung:07.12.17
Patenterteilung:05.03.20

Abstract / Hauptanspruch
Verfahren zur Messung der Dicke von nicht magnetisierbaren Schichten (51) auf einem magnetisierbaren Grundwerkstoff (52), dessen Permeabilität nicht bekannt ist, mit einer Messsonde (11), welche einen Sondenkopf (17) aufweist, der einen Topfkern (31) mit einer ersten und zweiten Spule (36, 37) umfasst, die auf einer gemeinsamen geometrischen Achse (16) liegen und bei dem die erste und zweite Spule (36, 37) ein erstes Spulenpaar (38) bilden, und der in der gemeinsamen Achse (16) eine Aufsetzkalotte (21) aufweist,
- bei welchem zur Messung der Dicke der Schicht (51) auf dem Grundwerkstoff (52) der Sondenkopf (17) auf der Schicht (51) aufgesetzt wird, dadurch gekennzeichnet,
- dass durch das erste Spulenpaar (38) mit einer durch den Topfkern (31) bewirkten Feldfokussierung ein erstes Wechselwirkungsvolumen erfasst wird,
- dass durch ein zweites Spulenpaar (44) mit einer ersten und zweiten Spule (42, 43), welches außerhalb des Topfkerns (31) und gemeinsam zur geometrischen Achse (16) angeordnet ist ohne Feldfokussierung durch den Topfkern (31) ein zweites Wechselwirkungsvolumen erfasst wird, und
- dass das erfasste erste und zweite Wechselwirkungsvolumen in einer Auswerteeinrichtung (13) verarbeitet und zur Kompensation einer Permeabilität des Grundwerkstoffes (52), auf dem die zu messende Schicht (51) aufgebracht ist, miteinander verglichen werden und eine Schichtdicke für die gemessene Schicht (51) ausgegeben wird, welche um den Einfluss der Permeabilität des Grundwerkstoffs (52) korrigiert ist.

Method for measuring the thickness of non-magnetizable layers (51) on a magnetizable base material (52), the permeability of which is not known, using a measuring probe (11) which has a probe head (17) which has a pot core (31) with a first and comprises a second coil (36, 37) which lie on a common geometric axis (16) and in which the first and second coils (36, 37) form a first coil pair (38), and which has a mounting cap (21) in the common axis (16),
in which the probe head (17) is placed on the layer (51) to measure the thickness of the layer (51) on the base material (52), characterized in that
a first interaction volume is detected by the first pair of coils (38) with a field focusing effected by the pot core (31),
- That a second interaction volume is detected by a second pair of coils (44) with a first and second coil (42, 43) which is arranged outside the pot core (31) and together with the geometric axis (16) without field focusing by the pot core (31) will, and
- That the detected first and second interaction volumes are processed in an evaluation device (13) and compared to compensate for a permeability of the base material (52) on which the layer (51) to be measured is applied, and a layer thickness for the measured layer (51 ) is output, which is corrected for the influence of the permeability of the base material (52).

DE102017129150B4


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