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Original-Dokument Europäisches Patentamt

Positionsbestimmung eines Objekts im Strahlengang einer optischen Vorrichtung | Position determination of an object in the beam path of an optical device

Patentnummer:	DE102014109687B4
IPC Hauptklasse:	G01B001114
Anmelder:	Carl Zeiss AG (0) 07745, Jena, DE
Erfinder:
Anmeldung:	10.07.14
Offenlegung:	10.07.14
Patenterteilung:	19.03.20
Abstract / Hauptanspruch
Verfahren zum Bestimmen einer Position (150) eines Objekts (100) parallel zur optischen Achse (120) einer optischen Vorrichtung (1), wobei das Verfahren umfasst: - Beleuchten des Objekts (100) aus einer ersten Beleuchtungsrichtung (210-1) und Erfassen eines ersten Bilds (230-1) des Objekts (100) während des Beleuchtens, - Beleuchten des Objekts (100) aus einer zweiten Beleuchtungsrichtung (210-2) und Erfassen eines zweiten Bilds (230-2) des Objekts (100) während des Beleuchtens, - Bestimmen eines Abstands (250) zwischen Abbildungsorten (220-1, 220-2) des Objekts (100) in dem ersten Bild (230-1) und in dem zweiten Bild (230-2), - Bestimmen einer Position (150) des Objekts (100) parallel zur optischen Achse (120) basierend auf dem Abstand (250), wobei die erste Beleuchtungsrichtung (210-1) durch einen ersten Winkel (251-1) gegenüber der optischen Achse (120) charakterisiert ist, wobei die zweite Beleuchtungsrichtung (210-2) durch einen zweiten Winkel (251-2) gegenüber der optischen Achse (120) charakterisiert ist, wobei das Bestimmen der Position (150) des Objekts (100) weiterhin auf dem ersten Winkel (251-1) und auf dem zweiten Winkel (251-2) basiert. A method for determining a position (150) of an object (100) parallel to the optical axis (120) of an optical device (1), the method comprising: Illuminating the object (100) from a first illumination direction (210-1) and capturing a first image (230-1) of the object (100) during the illumination, Illuminating the object (100) from a second illumination direction (210-2) and capturing a second image (230-2) of the object (100) during the illumination, - determining a distance (250) between imaging locations (220-1, 220-2) of the object (100) in the first image (230-1) and in the second image (230-2), - Determining a position (150) of the object (100) parallel to the optical axis (120) based on the distance (250), the first direction of illumination (210-1) by a first angle (251-1) with respect to the optical axis ( 120) is characterized, wherein the second direction of illumination (210-2) is characterized by a second angle (251-2) with respect to the optical axis (120), wherein determining the position (150) of the object (100) is further based on the first angle (251-1) and the second angle (251-2).