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Europäisches Patentamt

Positionsbestimmung eines Objekts im Strahlengang einer optischen Vorrichtung | Position determination of an object in the beam path of an optical device

Patentnummer:DE102014109687B4
IPC Hauptklasse:G01B001114
Anmelder:Carl Zeiss AG (0)
07745, Jena, DE
Erfinder:
Anmeldung:10.07.14
Offenlegung:10.07.14
Patenterteilung:19.03.20

Abstract / Hauptanspruch
Verfahren zum Bestimmen einer Position (150) eines Objekts (100) parallel zur optischen Achse (120) einer optischen Vorrichtung (1), wobei das Verfahren umfasst:
- Beleuchten des Objekts (100) aus einer ersten Beleuchtungsrichtung (210-1) und Erfassen eines ersten Bilds (230-1) des Objekts (100) während des Beleuchtens,
- Beleuchten des Objekts (100) aus einer zweiten Beleuchtungsrichtung (210-2) und Erfassen eines zweiten Bilds (230-2) des Objekts (100) während des Beleuchtens,
- Bestimmen eines Abstands (250) zwischen Abbildungsorten (220-1, 220-2) des Objekts (100) in dem ersten Bild (230-1) und in dem zweiten Bild (230-2),
- Bestimmen einer Position (150) des Objekts (100) parallel zur optischen Achse (120) basierend auf dem Abstand (250), wobei die erste Beleuchtungsrichtung (210-1) durch einen ersten Winkel (251-1) gegenüber der optischen Achse (120) charakterisiert ist,
wobei die zweite Beleuchtungsrichtung (210-2) durch einen zweiten Winkel (251-2) gegenüber der optischen Achse (120) charakterisiert ist,
wobei das Bestimmen der Position (150) des Objekts (100) weiterhin auf dem ersten Winkel (251-1) und auf dem zweiten Winkel (251-2) basiert.

A method for determining a position (150) of an object (100) parallel to the optical axis (120) of an optical device (1), the method comprising:
Illuminating the object (100) from a first illumination direction (210-1) and capturing a first image (230-1) of the object (100) during the illumination,
Illuminating the object (100) from a second illumination direction (210-2) and capturing a second image (230-2) of the object (100) during the illumination,
- determining a distance (250) between imaging locations (220-1, 220-2) of the object (100) in the first image (230-1) and in the second image (230-2),
- Determining a position (150) of the object (100) parallel to the optical axis (120) based on the distance (250), the first direction of illumination (210-1) by a first angle (251-1) with respect to the optical axis ( 120) is characterized,
wherein the second direction of illumination (210-2) is characterized by a second angle (251-2) with respect to the optical axis (120),
wherein determining the position (150) of the object (100) is further based on the first angle (251-1) and the second angle (251-2).

DE102014109687B4


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