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Europäisches Patentamt

Messsystem, insbesondere Koordinatenmessgerät | Measuring system, especially coordinate measuring machine

Patentnummer:DE102018114809B4
IPC Hauptklasse:G01B001100
Anmelder:Carl Zeiss AG (0)
Carl Zeiss Strasse 22, 73447 Oberkochen, DE
Erfinder:
Anmeldung:20.06.18
Offenlegung:20.06.18
Patenterteilung:26.03.20

Abstract / Hauptanspruch
Messsystem (10, 110, 210, 310) zum dimensionellen Messen eines Messobjekts (28, 128, 228, 328), mit:
- einem Objektträger (24, 124, 224, 324) zur Aufnahme des zu vermessenden Messobjekts (28, 128, 228, 328);
- einer ersten Sensoreinheit (56, 156, 256, 356) zur taktilen, optischen und/oder tomographischen Abtastung des zu vermessenden Messobjekts (28, 128, 228, 328),
- einer zweiten Sensoreinheit (58, 158, 258, 358) zur Bestimmung einer Lage des Objektträgers (24, 124, 224, 324), umfassend die Bestimmung einer Lage des Objektträgers (24, 124, 224, 324) entlang einer ersten Achse (Z) senkrecht zum Objektträger (24, 124, 224, 324) und die Bestimmung einer Verkippung des Objektträgers (24, 124, 224, 324) um zumindest eine zweite Achse (X, Y), die senkrecht zur ersten Achse (Z) ist, und
- einer Auswerteeinheit (50, 150), die dazu ausgebildet ist, Signale der ersten Sensoreinheit (56, 156, 256, 356) und Signale der zweiten Sensoreinheit (58, 158, 258, 358) zu verarbeiten, um unter Berücksichtigung der Lage des Objektträgers (24, 124, 224, 324) eine Geometrie des Messobjekts (28, 128, 228, 328) zu bestimmen,
wobei der Objektträger (24, 124, 224, 324) hinsichtlich der Verkippung um die zumindest eine zweite Achse (X, Y), die senkrecht zur ersten Achse (Z) ist, antriebslos gestaltet ist,
wobei die zweite Sensoreinheit (58, 158, 258, 358) ein Interferometer (80, 180, 280, 380) umfasst, welches den Objektträger (24, 124, 224, 324) von einer einem aufgenommenen Messobjekt (28, 128, 228, 328) abgewandten Seite anpeilt, und wobei die erste Sensoreinheit (56, 156, 256, 356) das auf dem Objektträger (24, 124, 224, 324) angeordnete Messobjekt (28, 128, 228, 328) von oben anpeilt, und
wobei die zweite Sensoreinheit (58, 158, 258, 358) den Objektträger (24, 124, 224, 324) von unten anpeilt.

Measuring system (10, 110, 210, 310) for the dimensional measurement of a measuring object (28, 128, 228, 328), with:
- an object holder (24, 124, 224, 324) for receiving the measurement object (28, 128, 228, 328) to be measured;
a first sensor unit (56, 156, 256, 356) for tactile, optical and / or tomographic scanning of the measurement object (28, 128, 228, 328) to be measured,
- a second sensor unit (58, 158, 258, 358) for determining a position of the slide (24, 124, 224, 324), comprising determining a position of the slide (24, 124, 224, 324) along a first axis ( Z) perpendicular to the slide (24, 124, 224, 324) and the determination of a tilt of the slide (24, 124, 224, 324) about at least a second axis (X, Y) which is perpendicular to the first axis (Z) , and
- An evaluation unit (50, 150), which is designed to process signals of the first sensor unit (56, 156, 256, 356) and signals of the second sensor unit (58, 158, 258, 358) in order to take into account the position of the Specimen slide (24, 124, 224, 324) to determine a geometry of the measurement object (28, 128, 228, 328),
wherein the slide (24, 124, 224, 324) is designed to be drive-free with regard to the tilting about the at least one second axis (X, Y), which is perpendicular to the first axis (Z),
wherein the second sensor unit (58, 158, 258, 358) comprises an interferometer (80, 180, 280, 380) which detects the slide (24, 124, 224, 324) from a measurement object (28, 128, 228, 328) facing away, and wherein the first sensor unit (56, 156, 256, 356) targets the measurement object (28, 128, 228, 328) arranged on the slide (24, 124, 224, 324) from above, and
wherein the second sensor unit (58, 158, 258, 358) targets the slide (24, 124, 224, 324) from below.

DE102018114809B4


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