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Europäisches Patentamt

Verfahren und Anordnung zum Vermessen von Objektoberflächen | Method and arrangement for measuring object surfaces

Patentnummer:DE102018209588B4
IPC Hauptklasse:G01B002130
Anmelder:Carl Zeiss AG (0)
Carl Zeiss Strasse 22, 73447 Oberkochen, DE
Erfinder:
Anmeldung:14.06.18
Offenlegung:14.06.18
Patenterteilung:26.03.20

Abstract / Hauptanspruch
Verfahren zum Vermessen von Objektoberflächen (25), umfassend:
Vermessen einer Objektoberfläche (25) an mehreren Messpunkten (24), die entlang einer ersten Messstrecke (26) angeordnet sind, sodass für jeden der Messpunkte (24) ein Messwert, nämlich ein Koordinatenwert bezüglich einer quer zur Objektoberfläche (25) verlaufenden Koordinatenachse oder eine örtliche Abweichung von einem idealen oder vermuteten Verlauf der Objektoberfläche (25) entlang der ersten Messstrecke (26), erhalten wird;
Vermessen der Objektoberfläche (25) an mehreren entlang einer zweiten Messstrecke (30) angeordneten Messpunkten (24), wobei die zweite Messstrecke (30) länger als die erste Messstrecke (26) ist und eine geringere Messpunktdichte als die erste Messstrecke (26) aufweist, und
Vermessen der Objektoberfläche (25) entlang einer dritten Messstrecke (40), die mehrere Messbereiche (44) mit jeweils wenigstens einem Messpunkt (24) enthält, wobei die dritte Messstrecke (40) zumindest teilweise auf Basis der durch das Vermessen entlang der ersten und der zweiten Messstrecke (26, 30) gewonnenen Messergebnisse definiert ist.

A method for measuring object surfaces (25), comprising:
Measuring an object surface (25) at a plurality of measuring points (24), which are arranged along a first measuring section (26), so that for each of the measuring points (24) a measured value, namely a coordinate value with respect to a coordinate axis running transverse to the object surface (25) or a local deviation from an ideal or assumed course of the object surface (25) along the first measurement section (26) is obtained;
Measuring the object surface (25) at a plurality of measuring points (24) arranged along a second measuring path (30), the second measuring path (30) being longer than the first measuring path (26) and having a lower measuring point density than the first measuring path (26), and
Measuring the object surface (25) along a third measuring section (40), which contains a plurality of measuring areas (44), each with at least one measuring point (24), the third measuring section (40) being based at least in part on the measurements taken along the first and the second measurement section (26, 30) is obtained.

DE102018209588B4


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