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Europäisches Patentamt

Sensoranordnung und Verfahren zum Vermessen eines Messobjekts | Sensor arrangement and method for measuring a measurement object

Patentnummer:DE102019200664B3
IPC Hauptklasse:G01B001125
Anmelder:Micro-Epsilon Optronic GmbH (0)
Lessingstrasse 14, 01465 Dresden-Langebrück, DE
Erfinder:
Anmeldung:18.01.19
Offenlegung:18.01.19
Patenterteilung:26.03.20

Abstract / Hauptanspruch
Es ist eine Sensoranordnung zum Vermessen eines Messobjekts offenbart, die eine Lichtquelle (2), eine Detektorlinse (3) und eine Sensorfläche (4) umfasst. Dabei ruft die Lichtquelle (2) einen durch die Sensoranordnung (1, 1') ausgesendeten Beleuchtungslichtstrahl (8, 8', 8") hervor, wobei die Detektorlinse (3) einen Detektionslichtstrahl (10, 10', 10") in Richtung der Sensorfläche (4) abbildet, wobei Beleuchtungslichtstrahl (8, 8', 8"), Detektorlinse (3) und Sensorfläche (4) derart relativ zueinander angeordnet sind, dass sich eine durch eine Ausbreitungsrichtung des Beleuchtungslichtstrahls (8, 8', 8") definierte Objektebene (11), eine senkrecht zu einer optischen Achse der Detektorlinse (3) angeordnete Linsenebene (13) und eine durch die Sensorfläche (4) definierte Detektorebene (12) in einer Schnittlinie (14) schneiden. Die Sensoranordnung umfasst ferner einen Umlenkspiegel (5) mit veränderbarer Reflektionsrichtung, wobei der Umlenkspiegel (5) optisch auf der Schnittlinie (14) und in einem Strahlengang eines durch die Lichtquelle (2) erzeugten Lichtstrahls angeordnet ist, sodass mittels Veränderung der Reflektionsrichtung des Umlenkspiegels (5) ein Beleuchtungslichtstrahl (8, 8', 8") mit veränderbarer Ausbreitungsrichtung und damit eine Objektebene mit veränderbarer Lage entsteht.

A sensor arrangement for measuring a measurement object is disclosed, which comprises a light source (2), a detector lens (3) and a sensor surface (4). The light source (2) produces an illuminating light beam (8, 8 ', 8 ") emitted by the sensor arrangement (1, 1'), the detector lens (3) emitting a detection light beam (10, 10 ', 10") in the direction of Images sensor surface (4), the illuminating light beam (8, 8 ', 8 "), detector lens (3) and sensor surface (4) being arranged relative to one another such that a direction of propagation of the illuminating light beam (8, 8', 8") defined object level (11), cut a lens plane (13) arranged perpendicular to an optical axis of the detector lens (3) and a detector plane (12) defined by the sensor surface (4) in an intersection line (14). The sensor arrangement further comprises a deflecting mirror (5) with a variable direction of reflection, the deflecting mirror (5) being arranged optically on the cutting line (14) and in a beam path of a light beam generated by the light source (2), so that by changing the direction of reflection of the deflecting mirror ( 5) an illuminating light beam (8, 8 ', 8 ") with a variable direction of propagation and thus an object plane with a variable position is created.

DE102019200664B3


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