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Europäisches Patentamt

SURFACE SHAPE MEASURING DEVICE AND METHOD | VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR MESSUNG DER OBERFLÄCHENFORM | DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE DE FORME DE SURFACE

Patentnummer:EP3315896B1
IPC Hauptklasse:G01B000508
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:05.07.16
Offenlegung:27.08.15
Patenterteilung:04.03.20

Abstract / Hauptanspruch
There are provided a surface shape measuring method, a misalignment amount calculating method and a surface shape measuring device which can measure the diameter of a workpiece to be measured with high precision and high reproducibility and have excellent versatility. These method include: a first acquiring step of acquiring first shape data with a detector being disposed on one side with respect to a workpiece, the first shape data indicating a surface shape of the workpiece when detecting a displacement of a surface of the workpiece with the detector while rotating the workpiece relatively to the detector around a rotational center, and a second acquiring step of acquiring second shape data with the detector being disposed on the other side with respect to the workpiece, the second shape data indicating the surface shape of the workpiece when detecting a displacement of the surface of the workpiece by the detector while rotating the workpiece relatively to the detector around the rotational center.

Provided are a surface shape measuring method, a misalignment amount calculating method and a surface shape measuring device with which it is possible to measure the diameter of a workpiece with high precision and good repeatability, and which make it possible to perform measurements with excellent versatility. This surface shape measuring method is provided with: a first acquisition step in which a detector is disposed on one side of a workpiece and first shape data are acquired, the first shape data indicating the surface shape of the workpiece when displacements in the surface of the workpiece are detected using the detector while the workpiece and the detector are caused to rotate relative to one another about a center of rotation; and a second acquisition step in which the detector is disposed on the other side of the workpiece and second shape data are acquired, the second shape data indicating the surface shape of the workpiece when displacements in the surface of the workpiece are detected using the detector while the workpiece and the detector are caused to rotate relative to one another about the center of rotation.

L'invention concerne un procédé de mesure de forme de surface, un procédé de calcul de la quantité de défaut d'alignement et un dispositif de mesure de forme de surface au moyen desquels il est possible de mesurer le diamètre d'une pièce avec une précision élevée et une bonne reproductibilité, et qui permettent d'effectuer des mesures avec une excellente polyvalence. Ce procédé de mesure de forme de surface comprend les étapes suivantes : une première étape d'acquisition dans laquelle un détecteur est disposé sur un côté d'une pièce et des premières données de forme sont acquises, lesdites premières données de forme indiquant la forme de la surface de la pièce lorsque sont détectés, à l'aide du détecteur, des déplacements dans la surface de la pièce, tandis que ladite pièce et ledit détecteur sont amenés à tourner l'un par rapport à l'autre autour d'un centre de rotation ; et une seconde étape d'acquisition, dans laquelle le détecteur est disposé sur l'autre côté de la pièce, et des secondes données de forme sont acquises, les secondes données de forme indiquant la forme de la surface de la pièce lorsque sont détectés, à l'aide du détecteur, des déplacements dans la surface de la pièce, tandis que ladite pièce et ledit détecteur sont amenés à tourner l'un par rapport à l'autre autour du centre de rotation.

EP3315896B1


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