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Europäisches Patentamt

Optomechanical device for actuating and/or detecting the movement of a mechanical element, in particular for gravimetric detection | Optomechanische Vorrichtung zum Betätigen und/oder Erkennen einer Bewegung eines mechanischen Elements, insbesondere für die gravimetrische Erfassung | Dispositif optomécanique d'actionnement et/ou de détection du déplacement d'un élément mécanique, notamment pour la détection gravimétrique

Patentnummer:EP2866000B1
IPC Hauptklasse:G01D000526
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:21.10.14
Offenlegung:22.10.13
Patenterteilung:11.03.20

Abstract / Hauptanspruch
Dispositif optomécanique d'actionnement et/ou de détection du déplacement d'un élément mécanique, notamment pour la détection gravimétrique.

Il comprend un support (20) et, sur celui-ci, au moins un élément mécanique (26) qui est ancré au support et apte à se déplacer par rapport à ce dernier, et un dispositif d'actionnement de cet élément et/ou de détection du déplacement de l'élément ou de variations de fréquence du déplacement, au moins une partie du dispositif d'actionnement et/ou du dispositif de détection étant disposée sous tout ou partie de l'élément, entre ce dernier et le support. Selon l'invention, le dispositif d'actionnement et/ou de détection comprend un dispositif optique fixe (21) qui comporte au moins un guide d'onde optique (22), qui est disposé sous tout ou partie de l'élément, à une distance déterminée de celui-ci, et qui est prévu pour propager au moins une onde optique ayant une longueur d'onde donnée, apte à interagir avec l'élément. Et le guide d'onde optique est à une distance déterminée de l'élément mécanique pour que le champ évanescent du guide d'onde optique interagisse avec l'élément mécanique.

EP2866000B1


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