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METHOD AND DEVICE FOR MEASURING DISPLACEMENT | VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR VERSCHIEBUNGSMESSUNG | PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE MESURE DE DÉPLACEMENT

Patentnummer:EP2933599B1
IPC Hauptklasse:G01B001100
Anmelder:OMRON CORPORATION (0)
Kyoto, JP
Erfinder:Suga, Takahiro (0)
Kyoto, JP
Takimasa, Hiroaki (0)
Kyoto, JP
Anmeldung:14.11.13
Offenlegung:12.12.12
Patenterteilung:11.03.20

Abstract / Hauptanspruch
A confocal measurement device (100), which is a displacement measurement device, includes: a white LED (21) that emits light having a plurality of wavelengths; a head section (10) in which a diffraction lens (2), an objective lens (3), and an aperture are configured as a confocal optical system; a moving mechanism (40) configured to move the head section (10) in a measurement axis direction (Z direction) of the confocal measurement device (100); and a measurement section (controller section (20)). The confocal measurement device (100) changes the distance between the head section (10) and a measurement object (200) and acquires a local maximum point of the spectrum of light that has passed through the aperture. The confocal measurement device (100) sets the distance at which the local maximum point is a local maximum point or local minimum point in the spectral reflectance characteristics as a reference distance between the head section (10) and the measurement object when the displacement is measured.

In the present invention, a confocal measurement device (100) that is a device for measuring displacement is provided with a white LED (21), a head section (10), a moving mechanism (40), and a measurement section (controller section (20)). The white LED (21) emits light having a plurality of wavelengths. The head section (10) comprises a refraction lens (2), an objective (3) and an opening as a confocal optical system. The moving mechanism (40) moves the head section (10) along a measurement axis (Z axis) direction of the confocal measurement device (100). The confocal measurement device (100) obtains a local maximum point of the spectrum of light, which has passed through the opening, by changing the distance between the head section (10) and a measurement subject (200). The confocal measurement device (100) sets the distance when the local maximum point reaches the local maximum point or local minimum point in the spectral reflectance characteristics as a standard distance between the head section (10) and the measurement subject when the displacement is measured.

Selon la présente invention, un dispositif de mesure confocale (100) qui est un dispositif de mesure de déplacement comporte une diode électroluminescente (DEL) blanche (21), une section supérieure (10), un mécanisme mobile (40), et une section de mesure (section de dispositif de commande (20)). La DEL blanche (21) émet une lumière ayant une pluralité de longueurs d'onde. La section supérieure (10) comprend une lentille de réfraction (2), un objectif (3) et une ouverture en tant que système optique confocal. Le mécanisme mobile (40) déplace la section supérieure (10) le long d'une direction d'axe (axe Z) de mesure du dispositif de mesure confocale (100). Le dispositif de mesure confocale (100) obtient un point maximum local du spectre de lumière, qui a traversé l'ouverture, par changement de la distance entre la section supérieure (10) et un sujet de mesure (200). Le dispositif de mesure confocale (100) règle la distance lorsque le point maximum local atteint le point maximum local ou le point minimum local dans les caractéristiques de réflectance spectrale en tant que distance standard entre la section supérieure (10) et le sujet de mesure lorsque le déplacement est mesuré.

EP2933599B1


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