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Europäisches Patentamt

Optical position measurement device | Optische Positionsmesseinrichtung | Dispositif optique de mesure de la position

Patentnummer:EP2746731B1
IPC Hauptklasse:G01B001100
Anmelder:Dr. Johannes Heidenhain GmbH (0)
83301, Traunreut, DE
Erfinder:Holzapfel, Wolfgang (0)
Obing, DE
Meissner, Markus (0)
, Reitstrasse 22b, 83236 Übersee, DE
Anmeldung:28.11.13
Offenlegung:20.12.12
Patenterteilung:25.03.20

Abstract / Hauptanspruch
Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Positionsmesseinrichtung zur Erfassung der Position eines Objektes in mehreren räumlichen Freiheitsgraden. Das Objekt ist mindestens entlang einer ersten Bewegungsrichtung und entlang einer zweiten Bewegungsrichtung beweglich angeordnet. Die Positionsmesseinrichtung umfasst mindestens eine Lichtquelle, mindestens eine am Objekt angeordnete erste und zweite Maßverkörperung, die sich entlang einer ersten und einer zweiten Erstreckungsrichtung erstrecken und entlang der ersten und zweiten Erstreckungsrichtung periodisch angeordnete Teilungsbereiche umfassen. Ferner ist eine Abtastplatte vorgesehen, in die mindestens erste und zweite Retroreflektorelemente integriert sind, wobei sich das erste Retroreflektorelement parallel zur ersten Erstreckungsrichtung und das zweite Retroreflektorelement parallel zur zweiten Erstreckungsrichtung erstreckt und über die Teilstrahlenbündel, die von der ersten und zweiten Maßverkörperung her darauf einfallen, eine Rückreflexion in Richtung der jeweiligen Maßverkörperung erfahren. Mittels einer Detektoranordnung sind aus überlagerten Teilstrahlenbündeln mindestens Positionssignale bezüglich der Bewegung des Objekts entlang der ersten und zweiten Bewegungsrichtung erzeugbar ( Figur 1).

EP2746731B1


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