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Europäisches Patentamt

CLEARANCE SENSOR AND CLEARANCE MEASURING METHOD | SENSOR UND VERFAHREN ZUR SPALTVERMESSUNG | CAPTEUR DE DISTANCE ET PROCÉDÉ DE MESURE DE DISTANCE

Patentnummer:EP3431917B1
IPC Hauptklasse:G01B000714
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:21.07.17
Offenlegung:26.05.17
Patenterteilung:25.03.20

Abstract / Hauptanspruch
A probe (2) is a three-layer substrate having two faces on which paired electrodes (E1, E2) are formed at corresponding positions and guard patterns (Ge) are formed around the electrodes. The guard patterns and all electrodes are driven by a common probe signal (Vp) to an equal potential, thereby commonly guarding the electrodes. Based on a clamp current of each electrode, a capacitance is found to obtain gap data.

A probe (2) is configured such that a pair of electrodes (E1, E2) are formed at corresponding positions on both surfaces of a three-layer substrate, and a guard pattern (Ge) is formed in the periphery. The guard pattern and all the electrodes are driven at the same potential on the basis of a common probe signal (Vp), and thus an electrode guard is shared. The electrostatic capacity is calculated on the basis of the clamp current of each electrode, and clearance data is obtained.

L'invention concerne une sonde (2) configurée de telle sorte qu'une paire d'électrodes (E1, E2) soient formées dans des positions correspondantes sur les deux surfaces d'un substrat à trois couches, et un motif de protection (Ge) soit formé à la périphérie. Le motif de garde et toutes les électrodes sont entraînés au même potentiel sur la base d'un signal de sonde commun (Vp), et ainsi une garde d'électrode est partagée. La capacité électrostatique est calculée sur la base du courant de serrage de chaque électrode, et des données de jeu sont obtenues.

EP3431917B1


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