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Europäisches Patentamt

Membrandickenmessgerät

Patentnummer:DE102014204029B4
IPC Hauptklasse:G01B000506
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:05.03.14
Offenlegung:05.03.14
Patenterteilung:09.01.20

Abstract / Hauptanspruch
Membrandickenmessgerät (10) mit
(a) einem Membranhalter (12) zum Halten einer Membran (14) mit einer Membrandicke (t m) von weniger als 50 Mikrometern in einer Messstellung,
mit
(b) einer ersten Antastvorrichtung (18.1),
- die eine erste Tastspitze (20.1) und
- einen Antrieb (22.1) besitzt, mittels dem die Antastvorrichtung (18.1) aus einer Ruhelage, in der die erste Tastspitze (20.1) von der Membran (14) in der Messstellung beabstandet ist, in eine Antastlage, in der die erste Tastspitze (20.1) an die Membran (14) antastet, brinbgar ist, und
(c) einer zweiten Antastvorrichtung (18.2),
- die eine zweite Tastspitze (20.2) und
- einen zweiten Antrieb (22.2) besitzt, mittels dem die zweite Antastvorrichtung (18.2)
aus einer Ruhelage, in der die zweite Tastspitze (20.2) von der Membran (14) beabstandet ist,
in eine Antastlage, in der die zweite Tastspitze (20.2) an die Membran (14) antastet, brinbgar ist,
(d) wobei die erste Antastvorrichtung (18.1) und die zweite Antastvorrichtung (18.2) so ausgebildet sind, dass sich die erste Tastspitze (20.1) und die zweite Tastspitze (20.2) stets auf einer gemeinsamen gedachten Geraden (g) bewegen,
und mit
(e) einer Längenmessvorrichtung (64), die angeordnet ist zum Messen eines Abstands (d) zwischen der ersten Tastspitze (20.1) und der zweiten Tastspitze (20.2), dadurch gekennzeichnet, dass
(f) die erste Antastvorrichtung (18.1) und die zweite Antastvorrichtung (18.2) ein mikroelektromechanisches System auf einem gemeinsamen Substrat bilden, und weiter gekennzeichnet dadurch, dass
(g) die Längenmessvorrichtung (64) ein Interferometer umfasst, das
(h) eine Lichtumlenkvorrichtung (68) aufweist, die angeordnet ist zum gemeinsamen Umlenken eines Referenzlichts (60) und eines Messlichts (61) und die mit dem Substrat (16) verbunden ist.

DE102014204029B4


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