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Europäisches Patentamt

Kapazitiver Drucksensor

Patentnummer:DE102018126382B3
IPC Hauptklasse:G01D000524
Anmelder:ifm electronic gmbh (0)
45128, Essen, DE
Erfinder:Walter, Heinz (0)
88145, Hergatz, DE
Anmeldung:23.10.18
Offenlegung:23.10.18
Patenterteilung:16.01.20

Abstract / Hauptanspruch
Die Erfindung betrifft einen kapazitiven Drucksensor mit einer Druckmesszelle (10) und einer Auswerteschaltung (30), wobei die Druckmesszelle (10) einen druckempfindlichen Messkondensator (C M) und einen Referenzkondensator (CR) aufweist und die Druckmesszelle (10) mit der Auswerteschaltung (30) verbunden ist, und wobei die Auswerteschaltung (30) einen ersten Operationsverstärker (OP1) aufweist, dessen niederohmiger Ausgang mit der gemeinsamen Elektrode (COM) verbunden ist.
Um den kapazitiven Drucksensor mit einer einfachen und damit kostengünstig herstellbaren Grenzstandsüberwachung weiterzubilden, mit der darüber hinaus auch eine Überwachung der Funktionsfähigkeit des Drucksensors möglich ist, ist erfindungsgemäß vorgesehen, dass zwischen dem Ausgang des ersten Operationsverstärkers (OP1) und der gemeinsamen Elektrode (COM) ein Shuntwiderstand (R Shunt) angeordnet ist, dessen Spannungsabfall ein Maß für den Ladestrom ist und mittels einer Verstärkereinheit (AWE) in ein alternierendes Spannungssignal UG umgewandelt wird, und dass eine Auswerteeinheit (AWE) vorgesehen ist, in der das alternierende Spannungssignal UG hinsichtlich zusätzlicher Außenströme ausgewertet wird.

DE102018126382B3


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