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Europäisches Patentamt

Use of an abscissa calibration jig, abscissa calibration method and laser interference measuring apparatus | Verwendung einer Abszissenkalibrierungsvorrichtung, Abszissenkalibrierungsverfahren und Laserinterferenzmessvorrichtung | Utilisation d'un gabarit d'étalonnage en abscisse, procédé d'étalonnage en abscisse et appareil de mesure d'interférence à laser

Patentnummer:EP2549222B1
IPC Hauptklasse:G01B001100
Anmelder:Mitutoyo Corporation (0)
20-1, Sakado 1-chome, ; Takatsu-ku, ; Kawasaki, Kanagawa 213-0012, JP
Erfinder:
Anmeldung:20.07.12
Offenlegung:22.07.11
Patenterteilung:01.01.20

Abstract / Hauptanspruch
An abscissa calibration jig of a laser interference measuring apparatus, includes: an image projection unit configured to project an image with a marker; a first support mechanism configured to rotatably support the image projection unit around a first rotation axis passing a predetermined rotation center; and a second support mechanism configured to rotatably support the first support mechanism around a second rotation axis crossing the first rotation axis at the rotation center.

EP2549222B1


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