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Europäisches Patentamt

DYNAMIC QUANTITY MEASURING APPARATUS | VORRICHTUNG ZUR MESSUNG EINER DYNAMISCHEN MENGE | APPAREIL DE MESURE DE GRANDEUR DYNAMIQUE

Patentnummer:EP3358326B1
IPC Hauptklasse:G01B000716
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:29.07.16
Offenlegung:30.09.15
Patenterteilung:08.01.20

Abstract / Hauptanspruch
The purpose of the present invention is to provide a strain sensor module structure having exceptional strain measurement accuracy and suppressing sensor output variation caused by moisture absorbed by a plastic member used as an electrical wiring member, etc., in a strain sensor module. The dynamic quantity measuring apparatus is characterized in having a strain sensor formed by a plurality of piezoelectric resistance elements and electrode pads on the surface of a semiconductor substrate, an electrical wiring plastic member provided with a plurality of wires that electrically connect to the plurality of electrode pads, a strain body joined to the rear surface of the strain sensor, and a bonding part via which the electrical wiring plastic member and strain body are affixed together; a groove being provided in an area of the electrical wiring plastic body that is near the strain sensor.

L'objet de la présente invention est de proposer une structure de module de capteur de déformation ayant une exceptionnelle précision de mesure de déformation et supprimant la variation de sortie de capteur provoquée par l'humidité absorbée par un élément en plastique utilisé en tant qu'élément de câblage électrique, etc. dans un module de capteur de déformation. L'appareil de mesure de grandeur dynamique est caractérisé en ce qu'il comprend un capteur de déformation formé par une pluralité d'éléments de résistance piézo-électriques et des plots d'électrode sur la surface d'un substrat semi-conducteur, un élément en plastique de câblage électrique pourvu d'une pluralité de fils qui se connectent électriquement à la pluralité de plots de connexion d'électrode, un corps de déformation relié à la surface arrière du capteur de déformation, et une partie de liaison par l'intermédiaire de laquelle l'élément en plastique de câblage électrique et le corps de déformation sont fixés l'un à l'autre; une rainure étant formée dans une zone du corps en plastique de câblage électrique qui est à proximité du capteur de déformation.

EP3358326B1


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