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Europäisches Patentamt

Shape measurement apparatus and shape measurement method

Patentnummer:US10527410B2
IPC Hauptklasse:G01B001130
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:09.04.18
Offenlegung:19.07.16
Patenterteilung:07.01.20

Abstract / Hauptanspruch
[Object] To provide a shape measurement apparatus that is capable of detecting minute roughness irregularity at high speed across the entire width on the entire surface of a measurement object.

[Solution] Provided is a shape measurement apparatus including: a light source configured to irradiate a surface of a moving strip-shaped body with linear light diagonally from an upstream side in a movement direction of the strip-shaped body; a screen configured such that reflected light of the linear light on the surface of the strip-shaped body is projected on the screen; an imaging unit configured to image the reflected light of the linear light projected on the screen; and an arithmetic processing unit configured to acquire surface roughness distribution of the strip-shaped body on the basis of width distribution of a light strip of the reflected light of the linear light projected on the screen. The angle of incidence of the light source with respect to the strip-shaped body is set in accordance with target surface roughness of the surface of the strip-shaped body.

[Problème] Proposer un appareil de mesure de forme qui est capable de détecter une très petite rugosité irrégulière sur toute la surface et toute la largeur d'un objet à mesurer à une vitesse élevée. [Solution] L'invention concerne donc un appareil de mesure de forme qui comporte: une source de lumière qui émet obliquement un faisceau linéaire vers la surface d'un corps de bande en mouvement à partir du côté amont de la direction de déplacement du corps de bande; un écran sur lequel est projeté un faisceau réfléchi du faisceau linéaire sur la surface du corps de bande; une unité d'imagerie qui prend l'image du faisceau réfléchi du faisceau linéaire projeté sur l'écran; et une unité de traitement arithmétique qui acquiert la distribution de la rugosité de surface du corps de bande sur la base de la distribution de largeur de bande de faisceau du faisceau réfléchi du faisceau linéaire projeté sur l'écran, l'angle d'incidence de la lumière provenant de la source de lumière par rapport au corps de bande étant réglé en fonction de la rugosité de surface cible de la surface du corps de bande.

【課題】測定対象物の全面全幅に亘って高速かつ微小な粗さむらを検出することが可能な形状測定装置を提供する。 【解決手段】移動する帯状体の表面に対して、帯状体の移動方向上流側から斜めに線状光を照射する光源と、帯状体の表面での線状光の反射光が投影されるスクリーンと、スクリーンに投影された線状光の反射光を撮像する撮像部と、スクリーンに投影された線状光の反射光の光帯の幅分布に基づいて、帯状体の表面粗さ分布を取得する演算処理部と、を備え、帯状体に対する光源の入射角は、帯状体表面の目標表面粗さに応じて設定される、形状測定装置が提供される。

US10527410B2


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