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Europäisches Patentamt

SHAPE-MEASURING DEVICE, SYSTEM FOR MANUFACTURING STRUCTURES, SHAPE-MEASURING METHOD, METHOD FOR MANUFACTURING STRUCTURES, SHAPE-MEASURING PROGRAM | FORMMESSVORRICHTUNG, SYSTEM ZUR HERSTELLUNG VON STRUKTUREN, FORMMESSVERFAHREN, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON STRUKTUREN UND FORMMESSPROGRAMM | DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE DE FORMES, SYSTÈME ET PROCÉDÉ POUR FABRIQUER DES STRUCTURES ET PROGRAMME DE MESURE DE FORMES

Patentnummer:EP2770295B1
IPC Hauptklasse:G01B001125
Anmelder:NIKON CORPORATION (0)
12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku; Tokyo 100-8331, JP
Erfinder:
Anmeldung:10.10.12
Offenlegung:11.10.11
Patenterteilung:27.11.19

Abstract / Hauptanspruch
It is possible to improve a measurement efficiency of a form measuring apparatus. There is provided a form measuring apparatus including: an imager configured to take an image of a object, an irradiator configured to irradiate a measurement light from a projection direction different from the direction along which the imager performs imaging to form a predetermined light amount distribution on the object, a reference light generator configured to generate a reference light to irradiate the object, and a detector configured to detect a target area for form measurement of the object based on a pickup image taken by the imager as the reference light is irradiated on the object.

La présente invention a pour objectif de mesurer efficacement des formes. Le dispositif de mesure de formes comporte : une partie d'imagerie pour prendre une image d'un objet à mesurer ; une partie d'irradiation pour irradier une lumière de mesure à partir d'une direction de projection, qui diffère de la direction d'imagerie de la partie d'imagerie, afin de former une distribution d'intensités lumineuses prescrite sur l'objet à mesurer ; une partie de génération de lumière de référence pour générer une lumière de référence, irradiée sur l'objet à mesurer ; et une partie de détection pour détecter la couverture de mesure de formes de l'objet à mesurer, sur la base de l'image capturée, prise par la partie d'imagerie au moment où la lumière de référence est projetée sur l'objet à mesurer.



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