patentverein.de - Patente
Patentethik
Überwachung
Beispielhaft
Trivial
Kurios
Unverständlich
Zurück Original-Dokument
Europäisches Patentamt

Verfahren zur Bestimmung der Position von Materialkanten auf einer Maske für die Halbleiterherstellung

Patentnummer:DE102008037465B4
IPC Hauptklasse:G01B001103
Anmelder:
Erfinder:Laske, Frank (0)
35781, Weilburg, DE
Anmeldung:17.10.08
Offenlegung:17.10.08
Patenterteilung:19.06.19

Abstract / Hauptanspruch
Verfahren zur Bestimmung der Position von Materialkanten (2 1, 22, 23, 24, 301, 302, 303, 304, 32) auf und/oder an einer Maske (2) für die Halbleiterherstellung, gekennzeichnet durch die folgenden Schritte:
- dass die Maske (2) in einen Messtisch (20) einer Koordinaten-Messmaschine (1) gelegt wird;
- dass die Position von mindestens zwei Materialkanten (2 1, 22, 23, 24, 301, 302, 303, 304, 32) mit einem Detektionssystem ermittelt wird, wobei die Materialkanten (21, 22, 23, 24, 301, 302, 303, 304, 32) jeweils Bestandteil unterschiedlicher Elemente auf und /oder an der Maske (2) sind; und
- dass der Messtisch (20) derart verfahren wird, dass mit dem Detektionssystem mindestens zwei Messwerte pro zu vermessender Materialkante (2 1, 22, 23, 24, 301, 302, 303, 304, 32) gewonnen werden, um die Position dieser Kanten (21, 22, 23, 24, 301, 302, 303, 304, 32) zu bestimmen, wobei die mindestens zwei Messwerte von unterschiedlichen Messstellen (50, 51) entlang der jeweiligen Kante (21, 22, 23, 24, 301, 302, 303, 304, 32) gewonnen werden.

DE102008037465B4


Kommentare zu diesem Patent schicken Sie bitte an .
Datenschutzerklärung