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Europäisches Patentamt

SHAPE MEASURING APPARATUS AND SHAPE MEASURING METHOD | FORMMESSVORRICHTUNG UND FORMMESSVERFAHREN | APPAREIL DE MESURE DE FORME ET PROCÉDÉ DE MESURE DE FORME

Patentnummer:EP3270104B1
IPC Hauptklasse:G01B001125
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:22.04.16
Offenlegung:22.04.15
Patenterteilung:12.06.19

Abstract / Hauptanspruch
[Object] To measure the surface height of a rigid body to be measured more accurately even if any one of three types of disturbance of translation in the height direction, rotation around the longitudinal-direction axis, and rotation around the width-direction axis has occurred during conveyance.

[Solution] A shape measurement apparatus according to the present invention uses a shape-measuring light-section line that is a light-section line extending in the width direction of a rigid body to be measured and is used to calculate the surface shape of the rigid body to be measured, a first correcting light-section line that is parallel to the longitudinal direction of the rigid body to be measured and crosses the shape-measuring light-section line, and is used to correct the effect of disturbance acting on the rigid body to be measured, and a second correcting light-section line that is parallel to the longitudinal direction of the rigid body to be measured, crosses the shape-measuring light-section line, and exists in a width-direction position of the rigid body to be measured different from the first correcting light-section line. On the basis of the two kinds of correcting light-section lines, the magnitude of disturbance is estimated at the intersection points of the shape-measuring light-section line and the correcting light-section lines; and thereby shape data obtained from the shape-measuring light-section line are corrected.

La présente invention vise à mesurer, avec plus de précision, une hauteur de surface d'un corps rigide à mesurer même lorsque l'une quelconque parmi trois perturbations, qui sont parallèles en mouvement dans une direction de hauteur, en rotation autour d'un axe de direction longitudinale, et en rotation autour d'un axe de direction de largeur, se produit pendant le transport. À cet effet, un appareil de mesure de forme selon la présente invention utilise : une ligne de section optique de mesure de forme qui s'étend dans la direction de largeur d'un corps rigide à mesurer, et qui est utilisée pour calculer la forme de surface du corps rigide à mesurer; une première ligne de section optique de correction qui est parallèle à la direction longitudinale du corps rigide à mesurer, tout en coupant la ligne de section optique de mesure de forme, et qui est utilisée pour corriger des effets d'une perturbation sur le corps rigide à mesurer; et une seconde ligne de section optique de correction qui est parallèle à la direction longitudinale du corps rigide à mesurer, tout en coupant la ligne de section optique de mesure de forme, et qui existe dans une position, dans la direction de largeur du corps rigide à mesurer, différente de la position de la première ligne de section optique de correction. Sur la base des deux lignes de section optique de correction, la magnitude d'une perturbation est estimée au niveau des points d'intersection de la ligne de section optique de mesure de forme et des lignes de section optique de correction respectives, et des données de forme obtenues à partir de la ligne de section optique de mesure de forme sont corrigées.

EP3270104B1


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