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Europäisches Patentamt

INTERFEROMETRIC ENCODERS USING SPECTRAL ANALYSIS | INTERFEROMETRISCHE CODIERER MIT VERWENDUNG VON SPEKTRALANALYSE | CODEURS INTERFÉROMÉTRIQUES UTILISANT UNE ANALYSE SPECTRALE

Patentnummer:EP3169969B1
IPC Hauptklasse:G01D000526
Anmelder:ZYGO CORPORATION (0)
Laurel Brook Road, ; Post Office Box 448, Middlefield; Connecticut 06455-0448, US
Erfinder:
Anmeldung:14.07.15
Offenlegung:14.07.14
Patenterteilung:19.06.19

Abstract / Hauptanspruch
Determining information about a degree of freedom of rigid body motion of an encoder scale includes: directing a first beam toward an encoder scale, in which the first beam diffracts from an encoder scale; combining a diffracted component of the first beam with a second beam to form an interfering output beam; monitoring changes in the output beam as a function of a wavelength of the first and second beams,; and determining the information about a degree of freedom of rigid body motion of the encoder scale based on changes in the output beam as a function of the wavelength.

Selon l'invention, la détermination d'une information concernant un degré de liberté de mouvement de corps rigide d'une échelle de codeur met en œuvre : le fait de diriger un premier faisceau vers une échelle de codeur, le premier faisceau étant diffracté à partir d'une échelle de codeur ; la combinaison d'un composant diffracté du premier faisceau à un second faisceau de façon à former un faisceau de sortie interférant ; la surveillance de changements dans le faisceau de sortie en fonction d'une longueur d'onde des premier et second faisceaux ; et la détermination de l'information concernant un degré de liberté de mouvement de corps rigide de l'échelle de codeur sur la base de changements dans le faisceau de sortie en fonction de la longueur d'onde.

EP3169969B1


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